透明導(dǎo)電氧化物(TCO)薄膜具有良好的電導(dǎo)率、較高的可見光透射率等特性,在太陽能電池、平板顯示等光電器件領(lǐng)域已取得廣泛應(yīng)用。透明導(dǎo)電氧化物半導(dǎo)體根據(jù)導(dǎo)電類型可分為n型和p型兩類。目前得以運用的透明導(dǎo)電氧化物一般是n型半導(dǎo)體,因為n型半導(dǎo)體的電導(dǎo)率比p型半導(dǎo)體高3⁴個數(shù)量級。制備CuAlO₂薄膜所需的陶瓷靶材多數(shù)采用高溫固相法制得,該工藝的燒結(jié)溫度高并且燒結(jié)時間長。本文用鋁硅酸鹽玻璃作為燒結(jié)助劑,改善CuAlO₂的燒結(jié)活性,降低燒結(jié)溫度和縮短燒結(jié)時間,獲得高致密、高電導(dǎo)率的CuAlO₂陶瓷。首先,為了獲得高電導(dǎo)率的CuAlO₂,探討不同含量的鋁硅酸鹽玻璃對CuAlO₂陶瓷的電性能影響。研究發(fā)現(xiàn),在CuAlO₂中添加的鋁硅酸鹽玻璃不僅能促進CuAlO₂晶粒的生長,還能促進CuAlO₂晶粒的發(fā)育。當(dāng)鋁硅酸鹽玻璃的含量達到9.5%時,CuAlO₂陶瓷晶粒生長發(fā)育完全,晶粒形狀為...

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【學(xué)位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
第1章 緒論
    1.1 CuAlO₂的概況
        1.1.1 CuAlO₂的晶體結(jié)構(gòu)
        1.1.2 CuAlO₂的本征電學(xué)性能
        1.1.3 CuAlO₂的應(yīng)用
    1.2 CuAlO₂的研究現(xiàn)狀
        1.2.1 CuAlO₂薄膜
        1.2.2 CuAlO₂陶瓷
    1.3 研究的主要內(nèi)容
第2章 樣品的制備與測試技術(shù)
    2.1 樣品的制備工藝
    2.2 實驗儀器
    2.3 表征方法
        2.3.1 陶瓷的表觀密度
        2.3.2 微觀形貌
        2.3.3 電性能表征方法
第3章 不同含量的玻璃對CuAlO₂陶瓷的電性能影響
    3.1 引言
    3.2 不同含量的玻璃對陶瓷形貌和相結(jié)構(gòu)的影響
    3.3 不同含量的玻璃對樣品電學(xué)性能的影響
        3.3.1 CuAlO₂陶瓷的電導(dǎo)率
        3.3.2 CuAlO₂陶瓷的阻抗
    3.4 CuAlO₂的應(yīng)用
    3.5 本章小結(jié)
第4章 工藝參數(shù)對CuAlO₂陶瓷電性能的影響
    4.1 引言
    4.2 不同燒結(jié)溫度的CuAlO₂陶瓷的結(jié)果與分析
        4.2.1 不同燒結(jié)溫度的CuAlO₂陶瓷的微觀結(jié)構(gòu)分析
        4.2.2 不同燒結(jié)溫度的CuAlO₂陶瓷的電性能分析
    4.3 不同燒結(jié)時間的CuAlO₂陶瓷的結(jié)果與分析
        4.3.1 不同燒結(jié)時間的CuAlO₂陶瓷的微觀結(jié)構(gòu)分析
        4.3.2 不同燒結(jié)時間的CuAlO₂陶瓷電學(xué)性能分析
    4.4 阻抗分析
    4.5 CuAlO₂的應(yīng)用
    4.6 本章小結(jié)
結(jié)論與展望
參考文獻
攻讀碩士學(xué)位期間所發(fā)表的學(xué)術(shù)論文
致謝



本文編號：3950524