隨著太陽能、大規(guī)模集成電路的快速發(fā)展,單晶爐獲得了良好發(fā)展空間。由于單晶爐運(yùn)行中對于精度要求較高,設(shè)備的保養(yǎng)與維護(hù)顯得更加重要。為此,有必要深入了解設(shè)備維護(hù)及故障現(xiàn)象,排查安全隱患,提升單晶爐設(shè)備穩(wěn)定性。

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【文章目錄】：
0 引言
1 單晶爐常見故障、原因及排除方法
    1.1 真空抽不到指標(biāo)
    1.2 堝升異常
    1.3 漏硅和滲硅
    1.4 石墨件異常
    1.5 拉制異常
2 單晶爐保養(yǎng)與維護(hù)策略
    2.1 坩堝軸驅(qū)動部件的維修
    2.2 籽晶提拉部件的維修
    2.3 水冷系統(tǒng)的維修
    2.4 隔離閥的維修
    2.5 管道的維修
    2.6 諧波減速器的維修
3 結(jié)語



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