氧化鈮作為一種重要的氧化物薄膜材料在可見(jiàn)到中波紅外波段廣泛應(yīng)用�；陔娮邮訜嵴舭l(fā)方法,研究了不同溫度條件下一定厚度的氧化鈮薄膜的微觀結(jié)構(gòu)及特性,通過(guò)Kim振動(dòng)模型擬合不同工藝條件下氧化鈮的光學(xué)常數(shù)色散分布,采用X射線衍射儀(X-Ray Diffraction,XRD)測(cè)試薄膜的結(jié)晶態(tài),并用原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope,AFM)檢測(cè)薄膜表面粗糙度,分析溫度對(duì)膜層表面粗糙度的影響規(guī)律。

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【文章目錄】：
1 薄膜光學(xué)常數(shù)擬合模型
2 沉積實(shí)驗(yàn)
3 實(shí)驗(yàn)結(jié)果分析
    3.1 光譜性能測(cè)試及光學(xué)常數(shù)的準(zhǔn)確擬合
    3.2 Nb2O5薄膜XRD測(cè)試
    3.3 Nb2O5表面形貌分析
4 結(jié)論



本文編號(hào)：3861335