硬脆材料廣泛應用于航空航天、微電子工業(yè)等尖端領域,而微細磨削是硬脆材料微小零件和微細結構的主要加工方法之一。當前硬脆材料的微細磨削極易在微結構棱角邊刃處產生裂紋、崩邊、缺角等加工損傷問題,這制約了微細磨削加工技術的推廣應用。本文將化學機械加工方法引入到微細磨削加工技術中,協(xié)同力、熱、化學多能量場復合作用,弱化材料去除過程中的機械作用,以減少裂紋、崩邊、缺角等加工損傷�；谏鲜龇治�,本文開展化學改性單晶硅微細磨削質量和摩擦磨損性能評價研究工作。分析了單晶硅化學改性機理及條件,討論了化學改性條件對單晶硅微細磨削質量和摩擦磨損性能的影響,并采用灰色關聯度法評價了影響單晶硅摩擦磨損性能的因素。具體包括:(1)分析單晶硅在不同化學改性條件時的反應機理,采用Spectro Blue等離子體光譜儀檢測不同化學改性液中硅元素的析出量,分析酸性與堿性化學改性液成分及pH值對單晶硅化學改性程度的影響規(guī)律。(2)開展單晶硅微細磨削實驗研究。討論不同化學改性條件、進給率、主軸轉速對單晶硅單邊槽邊刃微細磨削質量的影響。并以單邊槽邊刃上的平均邊刃裂紋寬度為評價指標,分析化學改性條件、進給率、主軸轉速對微細磨削邊刃...

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【學位級別】：碩士

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摘要
Abstract
第1章 緒論
    1.1 課題研究背景和意義
    1.2 國內外研究現狀
        1.2.1 硬脆材料微細加工技術
        1.2.2 化學機械加工
        1.2.3 常用評價方法
    1.3 課題來源和論文結構
    1.4 本章小結
第2章 單晶硅化學改性機理研究
    2.1 實驗材料
    2.2 單晶硅化學改性反應機理
    2.3 單晶硅化學改性檢測分析
    2.4 本章小結
第3章 化學改性單晶硅微細磨削質量研究
    3.1 微細磨削實驗及檢驗平臺
    3.2 實驗方法
    3.3 實驗結果及分析
        3.3.1 各改性條件下進給率影響分析
        3.3.2 各改性條件下的主軸轉速影響分析
    3.4 本章小結
第4章 化學改性單晶硅摩擦磨損性能研究
    4.1 微細磨削力分析
    4.2 實驗設備
        4.2.1 UMT-2型摩擦磨損機
        4.2.2 VK-X100形狀測量激光顯微系統(tǒng)
    4.3 化學改性單晶硅摩擦磨損正交試驗
    4.4 化學改性單晶硅摩擦磨損單因素實驗
    4.5 本章小結
第5章 化學改性單晶硅摩擦磨損性能評價
    5.1 灰色系統(tǒng)及灰色關聯分析理論
    5.2 實驗數據及關聯度分析
        5.2.1 正交試驗灰色關聯度分析
        5.2.2 單因素實驗灰色關聯度分析
    5.3 本章小結
總結與展望
參考文獻
致謝



本文編號：3855516