為了研究氧化鋅納米線(xiàn)傳感器的氣敏性能,通過(guò)磁控濺射法和水熱合成法制備了貴金屬Pd摻雜的氧化鋅納米陣列,對(duì)制備所得的樣品結(jié)構(gòu)和樣貌進(jìn)行了分析,著重研究了摻雜對(duì)氧化鋅納米陣列氣體傳感器的氣敏性能的影響,得到貴金屬的摻雜能夠提高對(duì)氣體的響應(yīng)度,并在一定程度上提高氣體的靈敏性能。最后,分析了樣品的氣體傳感機(jī)理。研究結(jié)果表明:在最佳溫度下,金屬Pd摻雜能夠?qū)υ臍饷粜阅苓M(jìn)行改善。

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【文章目錄】：
1 實(shí) 驗(yàn)
    1.1 樣品制備
    1.2 表征手段
2 結(jié) 論
    2.1 結(jié)構(gòu)分析
    2.2 形貌分析
    2.3 氣敏性能分析
    2.4 摻雜機(jī)理分析
3 結(jié) 論



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