采用多維氣相色譜,通過不同色譜柱的組合變換、配合反吹、中心切割等操作技術,分別對六氟化硫、四氟化碳、氫氣3種電子氣中的6～7種雜質檢測進行了方法開發(fā)。使用氣體稀釋法作出了5個濃度下氫氣中各組分的響應校準曲線,線性良好,最低濃度點0.05×10^-6 mol/mol時的RSD均小于10%。系統(tǒng)地描述了3種電子氣檢測方法的開發(fā)過程和經驗技巧,計算了檢出限,均遠好于市場檢測需求,其中六氟化硫各組分檢出限在20.3×10^-9～30.3×10^-9 mol/mol,四氟化碳各組分檢出限在16.2×10^-9～25.5×10^-9 mol/mol,氫氣各組分檢出限在8.1×10^-9～15.6×10^-9 mol/mol,方法重復性好、檢測效率高,可作為標準操作規(guī)范向社會開放共享。 

【文章頁數(shù)】：7 頁

【文章目錄】：
1 實驗部分
    1.1 主要儀器與試劑
    1.2 實驗方法
        1.2.1 多維色譜系統(tǒng)
        1.2.2 不同色譜柱組合條件下組分的保留時間
        1.2.3 氣體稀釋實驗
2 結果與討論
    2.1 六氟化硫氣體中痕量組分的分析方法開發(fā)
    2.2 六氟化硫氣體中痕量組分檢出限的確定
    2.3 四氟化碳氣體中痕量組分的分析方法開發(fā)
    2.4 四氟化碳氣體中痕量組分檢出限的確定
    2.5 氫氣中痕量組分的分析方法開發(fā)
    2.6 氫氣中痕量組分檢出限的確定
3 結論


【參考文獻】：
期刊論文
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[2]高起點、高質量發(fā)展我國IC設計業(yè)的若干思考[J]. 趙建忠.  中國集成電路. 2019(12)
[3]電子級八氟丙烷生產技術[J]. 馬建修,廖恒易.  低溫與特氣. 2015(06)
[4]AGC氦放電離子化檢測器（DID）氣相色譜儀在特種氣體分析中的應用[J]. 曾素芳,王非非.  低溫與特氣. 2011(03)



本文編號：3721529