社會(huì)的快速發(fā)展的同時(shí),伴隨著化石燃料等能源物質(zhì)被不斷使用,導(dǎo)致了空氣中污染性氣體的排放量急劇增加,從而嚴(yán)重威脅了人們的健康。因此,有毒有害氣體的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)變得極其重要。氣體傳感器作為氣體監(jiān)測(cè)的主要工具,已經(jīng)發(fā)展的相當(dāng)成熟。但是,目前國(guó)內(nèi)外常見(jiàn)氣體傳感器的核心元件（敏感元件）主要是金屬氧化物,這使得氣體傳感器具有工作溫度高、功耗大以及體積大等不利于集成等缺點(diǎn)。新一代明星材料石墨烯（graphene,簡(jiǎn)稱Gr）由碳原子以sp2雜化軌道按照120°碳—碳鍵排列而成的六角蜂窩狀二維材料。石墨烯結(jié)構(gòu)的特殊性導(dǎo)致其具有諸如比表面積大、電子噪聲低以及電導(dǎo)率高等方面的特點(diǎn);其中,超大的比表面積提供了大量的氣體吸附位點(diǎn);極低的電子噪聲提高了氣體傳感器的檢測(cè)極限;優(yōu)異的導(dǎo)電性提供了良好的導(dǎo)電通道,有利于降低整個(gè)器件的功耗。因此,石墨烯在氣體傳感器領(lǐng)域應(yīng)用的研究激發(fā)了越來(lái)越多科研人員的興趣。本文圍繞石墨烯的制備及其氣敏特性,對(duì)不同方法制備的石墨烯在其質(zhì)量改進(jìn)、氣體響應(yīng)靈敏度、響應(yīng)時(shí)間以及恢復(fù)時(shí)間等方面進(jìn)行了比較深入的研究。本文的研究?jī)?nèi)容以及相應(yīng)的成果主要包括:（1）在鍺（110）襯底上通過(guò)化學(xué)氣相沉積（CVD... 

【文章頁(yè)數(shù)】：63 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

圖１．１碳的低維同素異形體示意圖（ａ）Ｃ６〇（零維）；（ｂ）碳納米管（一維）；（ｃ）石墨�。ǘS）??

圖１．２二維石墨烯與零維富勒烯、一維碳納米管以及三維石墨之間的轉(zhuǎn)化關(guān)系［７］??

圖１．３?（ａ）單層石墨烯示意圖圖；（ｂ）單個(gè)六圓環(huán)的外接圓??


本文編號(hào)：3706857