綜述了膜分離技術(shù)在含HCl溶液體系和含HCl氣體體系中的應(yīng)用,探討了膜分離技術(shù)在多晶硅制備和有機(jī)硅制備中的應(yīng)用前景。 

【文章頁數(shù)】：5 頁

【文章目錄】：
1 含HCl溶液的膜分離
2 含HCl氣體體系的分離
    2.1 不含氯硅烷的HCl氣體體系分離
    2.2 含氯硅烷的HCl氣體體系分離
3 膜分離技術(shù)在硅材料制備中的應(yīng)用前景
4 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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碩士論文
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本文編號：3648673