高純?nèi)鹗前雽?dǎo)體離子注入用的重要摻雜離子源,在電子工業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用。介紹了三氟化硼常用的制備方法及其優(yōu)缺點,列舉了三氟化硼的純化方法。在實際生產(chǎn)過程中,企業(yè)可根據(jù)自身的情況選擇合理的生產(chǎn)路線,結(jié)合三氟化硼粗品的雜質(zhì)種類,選擇合適的純化方法,得到高純度的三氟化硼產(chǎn)品。 

【文章來源】：有機(jī)氟工業(yè). 2020,(02)

【文章頁數(shù)】：5 頁

【文章目錄】：
0 前言
1 三氟化硼的物化性質(zhì)
2 三氟化硼的制備方法
    2.1 螢石硼酸法
    2.2 氟硼酸鹽分解法
    2.3 直接氟化法
    2.4 絡(luò)合物分解法
3 三氟化硼的純化工藝
    3.1 冷阱法
    3.2 化學(xué)轉(zhuǎn)化法
    3.3 低溫精餾法
    3.4 吸附-精餾法
4 結(jié)語


【參考文獻(xiàn)】：
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本文編號：3639026