多晶硅的清洗環(huán)節(jié)作為多晶硅后處理過程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié),其裝備技術(shù)的發(fā)展隨著近年來多晶硅生產(chǎn)的規(guī)�；�、精細化、智能化發(fā)展也在不斷的優(yōu)化提升,本文回顧了多晶硅清洗裝備技術(shù)的發(fā)展歷程,總結(jié)了多晶硅清洗的特點,并針對當前多晶硅的產(chǎn)品特點,對未來多晶硅清洗裝備技術(shù)進行了展望,旨在為多晶硅生產(chǎn)企業(yè)在清洗裝備技術(shù)選擇上提供指導(dǎo)性意見。 

【文章來源】：有色設(shè)備. 2020,34(06)

【文章頁數(shù)】：4 頁

【部分圖文】：

新改良西門子工藝流程圖

從流程圖中可以看出,多晶硅的后處理加工過程是產(chǎn)品外售前的最后一道工序,因此其對產(chǎn)品質(zhì)量的控制起著尤為重要的作用。目前有些多晶硅生產(chǎn)企業(yè)在后處理加工環(huán)節(jié)重視程度不夠,雖然前面原料純度做的很高,最終在還原爐內(nèi)沉積出高品質(zhì)的多晶硅,但是因為在后處理加工過程中做的不夠細致,標準化程序做的不夠合理,導(dǎo)致最終產(chǎn)品質(zhì)量下降,這就顯得得不償失。因為浪費了較高的能量在前期原料加工和多晶硅沉積上,所以在最后的產(chǎn)品處理環(huán)節(jié)一定要做到細致到位,才能出售高品質(zhì)產(chǎn)品。多晶硅后處理加工流程一般按照如圖2所示的流程進行。不管是塊料產(chǎn)品還是棒料產(chǎn)品,在加工處理過程中都會有清洗環(huán)節(jié),這就直接為下游提供免洗料產(chǎn)品,因此清洗后的產(chǎn)品是直接包裝入庫的,也就是產(chǎn)品的質(zhì)量進入下游客戶之前這里是最后一道關(guān)口,由此可見其重要性。

針對以上特點,電子級多晶硅清洗流程一般設(shè)計流程圖,如圖3所示。在電子級多晶硅生產(chǎn)過程中,產(chǎn)品均按需要清洗考慮。首先將破碎好的塊料電子級多晶硅產(chǎn)品裝框,通過自動上料系統(tǒng)進入到清洗裝置內(nèi),用純水沖洗表面的灰塵、硅粉等顆粒物;然后通過堿液浸泡除去可能粘有的有機污染物,再用純水沖洗硅料表面的堿液;最后通過酸洗將表面沾污的金屬和在空氣中形成的氧化膜去除,通過純水鼓泡清洗去除表面的混酸,電子級多晶硅實現(xiàn)全自動清洗流程,硅料直接進入到真空紅外烘箱內(nèi)干燥,最終獲得成品電子級多晶硅產(chǎn)品。

【參考文獻】：
期刊論文
[1]淺談電子級多晶硅的清洗工藝[J]. 安生虎,陳叮琳.  智能城市. 2019(23)
[2]電子級多晶硅的生產(chǎn)工藝[J]. 梁駿吾.  中國工程科學(xué). 2000(12)



本文編號：3621012