硅是電子信息產(chǎn)業(yè)和光伏產(chǎn)業(yè)的主要功能材料,單晶爐是單晶硅的主要生產(chǎn)設(shè)備,單晶爐中熔融硅液面位置的檢測(cè)精度直接影響了晶體的質(zhì)量。液面位置測(cè)量的不準(zhǔn)確,會(huì)導(dǎo)致硅晶體雜質(zhì)的增加,還會(huì)引起晶體中的原生點(diǎn)缺陷,研究單晶爐液位檢測(cè)具有理論意義及工程實(shí)際應(yīng)用價(jià)值。本文在綜合分析國(guó)內(nèi)外資料的基礎(chǔ)上,完成了如下工作:用高斯曲線(xiàn)模型擬合單晶硅彎月面光環(huán)的邊緣灰度梯度,提取出光環(huán)的亞像素邊緣點(diǎn),作為立體匹配的特征點(diǎn);采用基于極線(xiàn)搜索的匹配算法,匹配兩臺(tái)相機(jī)圖像的光環(huán)邊緣,并通過(guò)匹配代價(jià)的曲線(xiàn)擬合實(shí)現(xiàn)匹配點(diǎn)的亞像素細(xì)化,精確地檢測(cè)出彎月面光環(huán)的三維位置,光環(huán)豎直方向的位置變化也就是熔融硅的液面位置變化;編寫(xiě)了單晶爐雙目視覺(jué)液位檢測(cè)軟件,設(shè)計(jì)并搭建了雙目視覺(jué)測(cè)量實(shí)驗(yàn)平臺(tái),驗(yàn)證了該軟件的測(cè)量精度,結(jié)果表明,該軟件系統(tǒng)符合晶體生長(zhǎng)所需的精度要求。雙目視覺(jué)液位檢測(cè)系統(tǒng)不需要很大的視野范圍,避免了熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)的不對(duì)稱(chēng),能夠降低晶體生長(zhǎng)的工藝調(diào)節(jié)難度。文章主要內(nèi)容如下:第一章闡述了單晶硅的重要性以及單晶爐中的液位對(duì)晶體生長(zhǎng)的影響,并具體分析了現(xiàn)有單晶爐液位檢測(cè)方案的不足。同時(shí)概述了視覺(jué)測(cè)量領(lǐng)域,尤其是雙目視覺(jué)領(lǐng)域的研究成果,... 

【文章來(lái)源】：浙江大學(xué)浙江省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁(yè)數(shù)】：93 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

圖１．１單晶硅棒與硅片??從高純度多晶硅中制備單晶硅的主要方法有直拉法［３］（ＣＺ法）和區(qū)熔法（ＦＺ??

浙江大學(xué)碩士學(xué)位論文??況下，選擇晶體半徑和晶體生長(zhǎng)速率作為被控對(duì)象；加熱器功率、晶體提拉速率??和坩堝上升速率是主要的操縱變量［５］。圖１．２為區(qū)熔法和直拉法制備單晶硅的示??意圖。??ｍ??觀(guān)??Ａ??Ｉ??ｆｉｉ?ｐｗ??（ａ）區(qū)熔法?（ｂ）直拉法??圖１．２區(qū)熔法與直拉法示意圖??目前大部分的單晶硅是利用直拉法制備的，使用直拉法制備單晶硅的設(shè)備稱(chēng)??為單晶硅直拉法生產(chǎn)爐，簡(jiǎn)稱(chēng)單晶爐［６１。在過(guò)去，國(guó)內(nèi)的單晶硅生產(chǎn)設(shè)備主要依??靠國(guó)外進(jìn)口，主要單晶爐設(shè)備生產(chǎn)廠(chǎng)商為美國(guó)的凱克斯公司（Ｋａｙｅｘ）�，F(xiàn)在國(guó)內(nèi)制??造水平提高，單晶爐設(shè)備逐漸國(guó)產(chǎn)化，國(guó)內(nèi)的京運(yùn)通、永泰和天龍光電等知名企??業(yè)紛紛投入單晶爐的設(shè)備生產(chǎn)中，其中，浙江晶盛機(jī)電股份有限公司憑借其優(yōu)良??的技術(shù)水平，走在單晶爐設(shè)備生產(chǎn)的前列。晶盛機(jī)電股份有限公司的單晶爐也是??本課題的主要研究對(duì)象。??；Ｐ?的■食砰；??＇－＇?Ｕ琴［１／??．意“?ＥＳＩ??ｉ．＇?羞，??．？?ｍ－ｊｘ

浙江大學(xué)碩士學(xué)位論文??況下，選擇晶體半徑和晶體生長(zhǎng)速率作為被控對(duì)象；加熱器功率、晶體提拉速率??和坩堝上升速率是主要的操縱變量［５］。圖１．２為區(qū)熔法和直拉法制備單晶硅的示??意圖。??ｍ??觀(guān)??Ａ??Ｉ??ｆｉｉ?ｐｗ??（ａ）區(qū)熔法?（ｂ）直拉法??圖１．２區(qū)熔法與直拉法示意圖??目前大部分的單晶硅是利用直拉法制備的，使用直拉法制備單晶硅的設(shè)備稱(chēng)??為單晶硅直拉法生產(chǎn)爐，簡(jiǎn)稱(chēng)單晶爐［６１。在過(guò)去，國(guó)內(nèi)的單晶硅生產(chǎn)設(shè)備主要依??靠國(guó)外進(jìn)口，主要單晶爐設(shè)備生產(chǎn)廠(chǎng)商為美國(guó)的凱克斯公司（Ｋａｙｅｘ）。現(xiàn)在國(guó)內(nèi)制??造水平提高，單晶爐設(shè)備逐漸國(guó)產(chǎn)化，國(guó)內(nèi)的京運(yùn)通、永泰和天龍光電等知名企??業(yè)紛紛投入單晶爐的設(shè)備生產(chǎn)中，其中，浙江晶盛機(jī)電股份有限公司憑借其優(yōu)良??的技術(shù)水平，走在單晶爐設(shè)備生產(chǎn)的前列。晶盛機(jī)電股份有限公司的單晶爐也是??本課題的主要研究對(duì)象。??；Ｐ?的■食砰；??＇－＇?Ｕ琴［１／??．意“?ＥＳＩ??ｉ．＇?羞，??．？?ｍ－ｊｘ

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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[2]基于局部拉普拉斯算子的災(zāi)后建筑物損毀檢測(cè)[J]. 李強(qiáng),陶超,梁浩,鄒崢嶸.  測(cè)繪與空間地理信息. 2018(05)
[3]基于ORB算法的雙目立體視覺(jué)測(cè)距系統(tǒng)[J]. 李雙全,章國(guó)寶.  工業(yè)控制計(jì)算機(jī). 2017(06)
[4]基于雙目視覺(jué)的水位測(cè)量算法[J]. 石晗耀,陶青川.  現(xiàn)代計(jì)算機(jī)(專(zhuān)業(yè)版). 2017(08)
[5]一種基于MSER的中文字符檢測(cè)算法[J]. 宋云峰,周兵.  信息與電腦(理論版). 2017(04)
[6]基于高斯積分曲面擬合的亞像素邊緣定位算法[J]. 段振云,王寧,趙文珍,趙文輝,馮寶強(qiáng).  儀器儀表學(xué)報(bào). 2017(01)
[7]sobel算子與prewitt算子分析與研究[J]. 王月新,劉明君.  計(jì)算機(jī)與數(shù)字工程. 2016(10)
[8]自適應(yīng)閾值的Prewitt地質(zhì)圖像邊緣檢測(cè)算法[J]. 劉天時(shí),魏雨,李湘眷.  小型微型計(jì)算機(jī)系統(tǒng). 2016(05)
[9]基于線(xiàn)結(jié)構(gòu)光的雙目三維體積測(cè)量系統(tǒng)[J]. 毛佳紅,婁小平,李偉仙,趙陽(yáng).  光學(xué)技術(shù). 2016(01)
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博士論文
[1]高溫單晶硅液位和直徑視覺(jué)檢測(cè)關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用研究[D]. 項(xiàng)森偉.浙江大學(xué) 2018
[2]車(chē)輛行駛中的視覺(jué)顯著目標(biāo)檢測(cè)及語(yǔ)義分析研究[D]. 繆小冬.南京航空航天大學(xué) 2013
[3]直拉式單晶硅生長(zhǎng)爐的關(guān)鍵技術(shù)研究[D]. 曹建偉.浙江大學(xué) 2010
[4]提拉法晶體生長(zhǎng)過(guò)程的數(shù)值分析及模擬實(shí)驗(yàn)[D]. 鄔小波.清華大學(xué) 1994

碩士論文
[1]基于立體視覺(jué)的空間目標(biāo)物體測(cè)量研究[D]. 曾憲衡.北京郵電大學(xué) 2018
[2]面向大型航空構(gòu)件測(cè)量的大視場(chǎng)相機(jī)標(biāo)定技術(shù)研究[D]. 楊帆.大連理工大學(xué) 2017
[3]單晶爐液位檢測(cè)的曲面鏡擬合方法研究[D]. 何恒盛.西安理工大學(xué) 2016
[4]雙目立體視覺(jué)在全針測(cè)量系統(tǒng)中的應(yīng)用研究[D]. 雷海兵.吉林大學(xué) 2016
[5]基于機(jī)器視覺(jué)技術(shù)的自動(dòng)微點(diǎn)焊系統(tǒng)[D]. 王梅梅.廣東工業(yè)大學(xué) 2015
[6]基于視覺(jué)的三維測(cè)量系統(tǒng)的研究與實(shí)現(xiàn)[D]. 李云峰.太原科技大學(xué) 2015
[7]單晶爐冷卻系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)[D]. 王建.南昌大學(xué) 2014
[8]基于數(shù)字圖像的倒車(chē)輔助技術(shù)的研究與實(shí)現(xiàn)[D]. 韓之剛.東北大學(xué) 2013
[9]基于雙目立體視覺(jué)的車(chē)輛測(cè)速系統(tǒng)[D]. 蔡壽祥.電子科技大學(xué) 2013
[10]大直徑硅單晶生長(zhǎng)過(guò)程中固/液界面形狀的數(shù)值分析[D]. 滕冉.北京有色金屬研究總院 2012



本文編號(hào)：3610201