鈦酸鍶（SrTiO₃）是一種鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的絕緣體。SrTiO₃早期的研究主要集中在作為超導(dǎo)薄膜基底,摻雜Nd、La等過渡族金屬元素獲得導(dǎo)電層等。21世紀(jì)初,在SrTiO₃/LaAlO₃（STO/LAO）界面處發(fā)現(xiàn)了高遷移率的二維電子氣引起了廣大科學(xué)工作者對SrTiO₃的研究興趣。后面又在界面處發(fā)現(xiàn)了超導(dǎo)、磁阻、金屬絕緣相變和持續(xù)光電導(dǎo)等性質(zhì),并且這些性質(zhì)主要與SrTiO₃表面的氧空位有關(guān)。隨后,在Ar⁺轟擊SrTiO₃的表面處也發(fā)現(xiàn)了高遷移率的表面導(dǎo)電層,該導(dǎo)電層由于Ar⁺轟擊產(chǎn)生氧空位而導(dǎo)電。該表面導(dǎo)電層展現(xiàn)出磁阻現(xiàn)象、憶阻開關(guān)效應(yīng)和金屬絕緣相變等新的物理性能,并在存儲器、場效應(yīng)器件和傳感器等反面有著潛在的應(yīng)用。并且Ar⁺轟擊SrTiO₃相比于SrTiO₃/La AlO₃異質(zhì)結(jié)的制備來說實驗條件簡單,更容... 

【文章來源】：電子科技大學(xué)四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：74 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

SrTiO3晶體的晶體結(jié)構(gòu)

本文通過 Ar轟擊 SrTiO3制備表面導(dǎo)電層研究其在新型電制備表面導(dǎo)電層需要考慮測試和應(yīng)用的需求：1 方便表面導(dǎo)電層流的測試；2 大規(guī)模集成器件需要的面積要小。因此通過光面制備微區(qū)導(dǎo)電層進(jìn)行測試表征，用磁控濺射技術(shù)制備宏觀 T面導(dǎo)電層的進(jìn)行形貌表征，霍爾效應(yīng)測試，電流-電壓測試，場衰減測試。O3表面導(dǎo)電層的制備O3樣品的制備流程如圖 2-1 所示，首先利用光刻技術(shù)在清潔的標(biāo)記圖形，通過磁控濺射在 SrTiO3表面依次鍍 30 nm 和 50 n洗掉多余的薄膜，得到薄膜標(biāo)記，然后在有標(biāo)記的 SrTiO3表面?zhèn)銱all Bar圖形。應(yīng)用離子源轟擊有Hall Bar圖形的SrTiO3基片一個 Hall Bar 結(jié)構(gòu)的表面導(dǎo)電區(qū)。清洗掉 SrTiO3表面的光刻膠技術(shù)在 SrTiO3表面制備電極圖形，然后通過磁控濺射技術(shù)在 S0nm 和 50nm 的 Ti/Pt 薄膜。清洗掉多余的薄膜得到完整的 SrT

圖 2-2 光刻流程圖術(shù)霍爾離子源和考夫曼離子源。它們的基本原理都是在磁場和電場的共同作用下，陰極燈絲產(chǎn)生的電由分子變?yōu)殡x子之后在電場和磁場的共同作用下品的表面。兩種離子源的原理如圖 2-3 所示。主要特點(diǎn)是：產(chǎn)生的離子束能量較低(50-200 eV)離子束有較大的均勻穩(wěn)定區(qū)，適用范圍較寬，不僅，而且還可以清潔材料表面。它主要由陰極燈絲組成，它們的作用分別是：陰極燈絲發(fā)射電子；陽化的氣體；磁鐵形成環(huán)形霍爾電流，增加粒子碰理如圖 2-3(a)所示，從下方的氣體入口通入氬氣進(jìn)

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]AZ5214光刻膠及像反轉(zhuǎn)特性的實驗研究[J]. 周明寶,崔錚.  微細(xì)加工技術(shù). 1999(02)



本文編號：3596744