本文關(guān)鍵詞：超聲噴霧熱解法制備MgO薄膜及性能研究，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：采用自制超聲噴霧熱解裝置制得MgO薄膜,用X射線衍射、掃描電子顯微鏡、紫外可見光分光光度計等研究了MgO薄膜的晶體及微觀結(jié)構(gòu)。結(jié)果表明,隨著沉積溫度的提高,薄膜的結(jié)晶性能變好,光透射率隨之升高;當(dāng)沉積溫度為650℃時,薄膜的晶粒為52.295nm,在可見光波段透射率達(dá)到77%。沉積溫度對MgO薄膜的晶體結(jié)構(gòu)、表面形貌以及光學(xué)特性有顯著影響,是調(diào)控MgO薄膜結(jié)構(gòu)和光學(xué)特性的有效手段。
【作者單位】： 南京郵電大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院;南京大學(xué)(蘇州)高新技術(shù)研究院;南京郵電大學(xué)理學(xué)院先進(jìn)功能陶瓷研究中心;
【關(guān)鍵詞】： MgO薄膜 超聲噴霧熱解 溫度 致密性
【基金】：國家自然科學(xué)基金項目(51172110,11405089) 江蘇省自然科學(xué)基金青年基金資助項目(BK20130376,BK20130855) 江蘇省高校自然科學(xué)研究資助項目(13KJB140012) 江蘇省“六大人才高峰”高層次人才項目(2014-XCL-015) 南郵校級科研項目(NY214131)
【分類號】：TQ132.2;TB383.2
【正文快照】： 隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,傳統(tǒng)的硅(Si)基半導(dǎo)體元件的特征尺寸邁入了微米甚至納米數(shù)量級,人們對元件小型化的需求越來越迫切,客觀要求一些具有優(yōu)異的壓電、鐵電及高溫超導(dǎo)性能的薄膜材料在Si襯底上有良好的集成,但二者之間存在較大的晶格失配,影響了薄膜材料的應(yīng)用[1],而氧

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1 趙松海;魏麗穎;管學(xué)茂;汪瀾;;MgO混凝土研究現(xiàn)狀及應(yīng)用展望[J];江蘇建材;2014年01期

2 胡燕武;林文勇;;高M(jìn)gO采礦廢石在水泥生產(chǎn)中的應(yīng)用[J];礦業(yè)工程;2013年01期

3 鄭開宏,孫江勇,范芙蓉;Mg與MgO對Al_2O_3顆粒增強(qiáng)鋁基復(fù)合材料的影響[J];有色金屬;2005年02期

4 新德;添加MgO的釹鐵硼磁體[J];稀土信息;1997年02期

5 張惠鄂;普通水泥中MgO的快速測定[J];水泥;2005年09期

6 趙松海;劉松輝;魏麗穎;汪瀾;管學(xué)茂;;MgO及鐵相調(diào)整對高鎂熟料燒成的影響[J];水泥工程;2014年04期

7 李守義;劉正來;南雅公;張志榮;;高壓下MgO熔化特性的分子動力學(xué)模擬(英文)[J];Chinese Journal of Chemical Physics;2006年04期

8 張文政;劉正;毛萍莉;;不同孔徑MgO泡沫過濾器對純Mg過濾效果研究[J];特種鑄造及有色合金;2013年06期

9 徐公美;;高M(jìn)gO熟料配料方案的改進(jìn)[J];水泥技術(shù);2011年06期

10 楊道媛,郭新榮,張海軍,賈曉林,孫加林,鐘香崇;MgO晶須的物相組成和微觀形貌多樣性[J];人工晶體學(xué)報;2004年02期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 黃蕾;李殿卿;林彥軍;D.G.Evans;段雪;;納米MgO制備及殺菌機(jī)理與殺菌性能研究[A];第一屆全國化學(xué)工程與生物化工年會論文摘要集(下)[C];2004年

2 楊瀟薇;劉效疆;宋學(xué)兵;蘭偉;;鋰系熱電池中電解質(zhì)粘合劑MgO的優(yōu)選[A];中國化學(xué)會第29屆學(xué)術(shù)年會摘要集——第24分會：化學(xué)電源[C];2014年

3 陳同來;李效民;于偉東;張霞;高相東;;采用金屬M(fèi)g和燒結(jié)MgO陶瓷靶材對PLD淀積MgO薄膜的結(jié)晶性的影響[A];上海市真空學(xué)會成立20周年暨第九屆學(xué)術(shù)年會論文集[C];2005年

4 任曉東;張廷安;劉燕;勾立爭;豆志河;赫冀成;;MgO基新型脫硫劑的熱力學(xué)研究[A];第十三屆（2009年）冶金反應(yīng)工程學(xué)會議論文集[C];2009年

5 望伊濤;管宗甫;陳湘湘;李世華;王云浩;;硅率對高鎂熟料中MgO固溶的影響[A];中國硅酸鹽學(xué)會水泥分會第三屆學(xué)術(shù)年會暨第十二屆全國水泥和混凝土化學(xué)及應(yīng)用技術(shù)會議論文摘要集[C];2011年

6 鄭德修;喻志農(nóng);;彩色PDP用MgO膜的抗濺射性能研究[A];中國電子學(xué)會真空電子學(xué)分會第十三屆學(xué)術(shù)年會論文集（上）[C];2001年

7 況亞偉;劉玉申;馬玉龍;徐競;江學(xué)范;;高溫退火對MgO晶體光致發(fā)光性能的影響[A];第八屆華東三省一市真空學(xué)術(shù)交流會論文集[C];2013年

8 郭濱剛;胡文波;何鋒;劉純亮;;老煉過程對AC-PDP顯示屏MgO薄膜二次電子發(fā)射系數(shù)的影響[A];2004年中國材料研討會論文摘要集[C];2004年

9 朱剛;李江濤;晏志軍;楊曉慧;;甲醇在MgO負(fù)載型過渡金屬催化劑上裂解制備氫氣[A];中國化學(xué)會第28屆學(xué)術(shù)年會第8分會場摘要集[C];2012年

10 陳湘湘;管宗甫;李小穎;;SM對高鎂熟料中MgO固溶及在各礦物中分布的影響[A];中國硅酸鹽學(xué)會水泥分會第四屆學(xué)術(shù)年會論文摘要集[C];2012年

中國重要報紙全文數(shù)據(jù)庫 前4條

1 鐘;含有MgO·Al_（2）O_（3）尖晶石的鐵水中Mg、Al和O之間的脫氧平衡[N];世界金屬導(dǎo)報;2005年

2 全榮;轉(zhuǎn)爐煉鋼用溶劑和耐火材料中MgO溶解行為的研究[N];世界金屬導(dǎo)報;2014年

3 記者 胡曉峰;申通機(jī)械MGO黏度控制系統(tǒng)首戰(zhàn)告捷[N];中國船舶報;2010年

4 記者 胡曉峰;申通機(jī)械攜手約克推出MGO黏度控制系統(tǒng)[N];中國船舶報;2010年

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1 董志剛;單晶MgO微觀力學(xué)行為和磨粒加工表面層損傷[D];大連理工大學(xué);2010年

2 陶紹平;鋼包內(nèi)襯用MgO基和Al_2O_3基耐火材料對鋼質(zhì)量的影響研究[D];鄭州大學(xué);2007年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 郭會強(qiáng);基于MgO的非雙勢壘磁性隧道結(jié)輸運(yùn)和噪聲特性的研究[D];鄭州大學(xué);2015年

2 李召峰;優(yōu)化鋼渣物相組成、控制MgO分布及其機(jī)理研究[D];濟(jì)南大學(xué);2011年

3 望伊濤;摻雜對高鎂熟料中MgO的固溶特性及Alite微結(jié)構(gòu)的影響[D];鄭州大學(xué);2011年

4 王科;單晶MgO基片拋光工藝的實驗研究[D];大連理工大學(xué);2006年

5 劉超;單晶MgO拋光基片高質(zhì)量表面保護(hù)研究[D];大連理工大學(xué);2007年

6 許前豐;凝膠—燃燒合成法制備納米MgO顆粒的研究[D];華中科技大學(xué);2006年

7 李洋;骨料種類對MgO混凝土膨脹性能的影響研究[D];長江科學(xué)院;2012年

8 徐友峰;吸附—光催化協(xié)同體系構(gòu)建及分級多孔MgO載體的制備與性能研究[D];浙江理工大學(xué);2014年

9 劉江昊;SHS/QP法制備MgO納米晶陶瓷及燒結(jié)致密化機(jī)理研究[D];武漢理工大學(xué);2010年

10 宋紅艷;納米MgO聚烯烴復(fù)合絕緣材料的制備及其電氣性能的研究[D];上海交通大學(xué);2014年

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本文編號：295560