銅化學(xué)機(jī)械拋光工藝的拋光液研究
本文關(guān)鍵詞：銅化學(xué)機(jī)械拋光工藝的拋光液研究，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。
《上海交通大學(xué)》 2007年
銅化學(xué)機(jī)械拋光工藝的拋光液研究
俞棟梁
【摘要】： 銅的化學(xué)機(jī)械拋光已經(jīng)成為現(xiàn)代集成電路制造行業(yè)中發(fā)展最為迅速的工藝,在集成電路芯片制造的過(guò)程中它可以滿足各種不同薄膜的平坦化要求。盡管銅化學(xué)機(jī)械拋光工藝的發(fā)展非常迅猛,但是相對(duì)來(lái)說(shuō)它的理論基礎(chǔ)研究還并不完善,尤其是硅片拋光液和拋光墊之間的相互作用關(guān)系,新的化學(xué)機(jī)械拋光工藝必然會(huì)有新的更復(fù)雜的化學(xué)劑配方加入�？傊�,對(duì)于下一代化學(xué)機(jī)械拋光工藝的發(fā)展,如何理解拋光液的基本原理以及進(jìn)行改善是非常關(guān)鍵的。 拋光液的優(yōu)劣主要有拋光率,平坦性以及缺陷的數(shù)量等幾個(gè)參數(shù)反應(yīng)。為了獲得更加平坦的表面在拋光之前必須形成鈍化層然后進(jìn)行拋光,使用的化學(xué)添加劑比如過(guò)氧化氫(H2O2)等作為氧化劑來(lái)形成這個(gè)表面鈍化層,其他的化學(xué)添加劑作為抑制劑或配位劑也會(huì)加入拋光液對(duì)氧化層進(jìn)行調(diào)節(jié)。在這個(gè)研究中,我們使用氧化劑為過(guò)氧化氫的拋光液,然后試驗(yàn)不同的配位劑和抑制劑在PH值2至10的范圍內(nèi)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)。經(jīng)過(guò)分析和比較最終的平坦化效果,確定兩種配位劑和一種抑制劑作為拋光液的成分。同時(shí)對(duì)于這種配方的拋光液在實(shí)際工程中的缺陷進(jìn)行了評(píng)估以及改善實(shí)驗(yàn)。 為了更好的理解化學(xué)機(jī)械拋光的機(jī)理,X-射線光電子光譜,原子力顯微鏡,掃描式電子顯微鏡等被應(yīng)用,實(shí)驗(yàn)的結(jié)果得到了合理的配方成分,并且分析了基本的原理。
【關(guān)鍵詞】：
【學(xué)位授予單位】：上海交通大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2007
【分類號(hào)】：TN405
【目錄】：
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10 王宏亮;EV71 VP1抑制劑的設(shè)計(jì)、合成與活性評(píng)價(jià)[D];沈陽(yáng)藥科大學(xué);2011年
中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條
1 俞棟梁;銅化學(xué)機(jī)械拋光工藝的拋光液研究[D];上海交通大學(xué);2007年
2 李赟;大鼠慢性阻塞性肺疾病中磷酸二酯酶4活性的變化及其選擇性抑制劑的作用[D];浙江大學(xué);2006年
3 葛蔚;糊化淀粉包被脲酶抑制劑的研究[D];東北農(nóng)業(yè)大學(xué);2002年
4 王巖;人PTP1B催化結(jié)構(gòu)域的克隆表達(dá)及其抑制劑的篩選[D];吉林大學(xué);2005年
5 王樹青;基于生物信息學(xué)的SARS冠狀病毒主蛋白酶抑制劑的設(shè)計(jì)[D];天津師范大學(xué);2005年
6 柏冰;基于結(jié)構(gòu)分枝桿菌異檸檬酸裂合酶的高通量藥物篩選模型的構(gòu)建與應(yīng)用[D];西南大學(xué);2006年
7 周洪彬;卵母細(xì)胞成熟抑制劑對(duì)豬卵母細(xì)胞成熟的影響[D];西南大學(xué);2006年
8 賈蕊;高效毛細(xì)管電泳在二氫葉酸還原酶反應(yīng)動(dòng)力學(xué)研究中的應(yīng)用[D];首都師范大學(xué);2006年
9 楊佳倩;5-氨基乙酰丙酸脫水酶的克隆表達(dá)與酶學(xué)性質(zhì)的初步研究[D];浙江大學(xué);2008年
10 王玲玲;半枝蓮治療濕熱內(nèi)蘊(yùn)型肝癌的機(jī)制研究[D];吉林大學(xué);2008年
本文關(guān)鍵詞：銅化學(xué)機(jī)械拋光工藝的拋光液研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。
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