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No．7 第18卷第7期 光學精密工程 V01．18 andPrecision 2010年7月 Optics Engineering Jul．2010 文章編號1004―924X 2010 07―1554―08 石英玻璃的化學機械磨削加工 仇中軍1，周立波2，房豐洲1，椎名剛志2，江田弘2 L天津大學精密測試技術及儀器國家重點實驗室，天津300072； 2．日本茨城大學工學部，茨城日立316―8511 摘要：為了實現石英玻璃基板的高效、高質量加工，進一步改善光掩模設備的性能，進行了石英玻璃化學機械磨削 CMG 加工技術的研究。通過在磨削過程中主動增強磨粒、結合劑以及磨削液與工件的化學反應，并使化學反應與機 械去除作用形成動態(tài)平衡，，從而消除因材料脆性去除而造成的表面損傷等，實現了大口徑玻璃工件的高表面質量、高形 狀精度的加工。針對石英玻璃CMG加工的特點，開發(fā)了CMG專用砂輪及磨削液，利用正交實驗法優(yōu)化了石英玻璃 CMG加工工藝參數，分析了CMG加工過程中磨削壓力、砂輪轉速、磨削液流量、pH值等因素對加工表面粗糙度及加工 效率的影響，并利用優(yōu)化后的工藝參數加工得到了兄為0．795am的石英玻璃表面。加工后基板的光學性能和化學機 械拋光 CMP 加工基板的光學性能相同，能夠滿足光掩模設備的性能需求。 關鍵詞：化學機械磨削；石英玻璃；正交試驗法 文獻標識碼：A doi：10．3788／OPE．20101807．1554 中圖分類號：TQl71．68 Chemicalmechanicalfor grindingquartzglass

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