本文關鍵詞：碳納米管互連技術新進展

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【摘要】：隨著功能器件互連導線的規(guī)模逐漸擴大,導線的尺寸不斷減小,量子效應明顯加強,未來將導致目前采用銅互連技術的微納功能器件無法遵循傳統(tǒng)半導體物理的原理工作。碳納米管憑借其獨特的一維納米結構而具有優(yōu)越的電學、熱學及機械等性能,有望取代銅連線而成為下一代芯片的互連導線材料,而碳納米管的互連技術則是結構制造、功能器件制備或其組裝不可或缺的重要環(huán)節(jié),現(xiàn)已成為國際新材料領域的研究前沿和熱點,本文詳細概述碳納米管作為互連導線的優(yōu)越性能、互連形式、互連技術的最新研究進展以及應用前景。
【作者單位】： 哈爾濱工業(yè)大學機器人技術與系統(tǒng)國家重點實驗室;哈爾濱工業(yè)大學先進焊接與連接國家重點實驗室;西安交通大學機械制造系統(tǒng)工程國家重點實驗室;
【關鍵詞】： 碳納米管 性能 互連 應用前景
【基金】：國家自然科學基金(51505371,51275122) 中國博士后科學基金(2014M562397,2015T81018) 中央高校基本科研業(yè)務費專項資金(xjj2015009) 陜西省博士后科研項目 機器人技術與系統(tǒng)國家重點實驗室開放研究項目(SKLRS-2016-KF-13)~~
【分類號】：TB383.1;TQ127.11
【正文快照】： 1前言的要求,作為集成電路的互連導線最初所采用的是鋁互連線[1,2],Al的電阻率僅為2.7μΩ·cm,與n+互連技術,就是將同一芯片內各個獨立的元器和p+硅的歐姆接觸電阻可以降至為10-6Ω/cm2,并件,通過一定的方式連接成具有一定功能的電路模且與硅和磷玻璃有很好附著性,易于沉積與，

本文編號：865350