發(fā)布時(shí)間：2017-09-09 02:21

  本文關(guān)鍵詞：CVD金剛石化學(xué)機(jī)械拋光工藝研究

  更多相關(guān)文章： CVD金剛石 化學(xué)機(jī)械拋光 工藝 高鐵酸鉀

【摘要】：本文提出采用化學(xué)機(jī)械拋光的新工藝實(shí)現(xiàn)傳統(tǒng)方法無(wú)法達(dá)到的超光滑、低損傷的表面拋光。本文在對(duì)金剛石氧化的化學(xué)熱動(dòng)力學(xué)研究基礎(chǔ)上,配制了以高鐵酸鉀為主要氧化劑的化學(xué)機(jī)械拋光液,指出加快化學(xué)機(jī)械拋光過(guò)程金剛石氧化的工藝措施。研制了用于CVD金剛石化學(xué)機(jī)械拋光的可加熱拋光頭和摩擦力測(cè)量裝置,著重研究了CVD金剛石的化學(xué)機(jī)械拋光工藝。試驗(yàn)得到最佳的拋光工藝參數(shù):拋光壓力為266.7 k Pa,拋光盤轉(zhuǎn)速為70 r/min,拋光頭轉(zhuǎn)速為23 r/min,拋光溫度為50℃�；瘜W(xué)機(jī)械拋光的摩擦系數(shù)在0.060~0.065范圍內(nèi)變化,為混合潤(rùn)滑狀態(tài)。
【作者單位】： 沈陽(yáng)工業(yè)大學(xué);大連理工大學(xué)教育部精密與非傳統(tǒng)加工教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： CVD金剛石 化學(xué)機(jī)械拋光 工藝 高鐵酸鉀
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(51305278) 教育部博士點(diǎn)基金(20132102120006) 國(guó)家博士后基金(2014M551124)
【分類號(hào)】：TQ163
【正文快照】： (Received 20 August 2015,accepted 22 September 2015)1引言CVD金剛石具有很高的硬度(100 GPa)、良好的化學(xué)穩(wěn)定性、高的熱傳導(dǎo)率(2×103W·m-1·K-1)、高的彈性模量(1.04×1012Pa)、很大的電阻(1013Ω·cm)、寬帶隙(5.45 e V)、較寬的透光波段(從紅外到紫外)及很低的摩擦

【共引文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

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【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：817730