本文關(guān)鍵詞：金剛石表面飛秒激光直寫微米石墨線

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【摘要】：利用120 fs、800 nm鈦藍(lán)寶石飛秒激光器微納加工系統(tǒng),在化學(xué)氣相沉積金剛石薄片表面進(jìn)行了石墨化的研究,得到了導(dǎo)電性良好的微米尺度的石墨線。利用Raman光譜研究了激光的功率、激光掃描速度等對(duì)石墨化程度的影響規(guī)律。結(jié)果表明,在飛秒激光直寫區(qū)域有納米晶石墨、無(wú)定型碳及殘留金剛石存在。優(yōu)化輻照激光能量和激光掃描速度參數(shù),可以得到較好的納米晶石墨線結(jié)構(gòu)。以10μm/s掃描速度,1.14μJ激光能量刻寫出了毫米級(jí)長(zhǎng)度的石墨線。利用半導(dǎo)體電阻測(cè)試儀對(duì)其伏安特性進(jìn)行了測(cè)試,測(cè)得1 mm長(zhǎng)石墨線的電阻約67.2 kΩ。該研究對(duì)基于金剛石的生物傳感器、放射量測(cè)定計(jì),及器件內(nèi)掩埋石墨電極等制備都有一定的指導(dǎo)意義。
【作者單位】： 電子科技大學(xué)物理電子學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 飛秒激光微加工 金剛石 石墨線 拉曼光譜
【基金】：中央高�；究蒲袠I(yè)務(wù)費(fèi)(ZYGX2012J057) 國(guó)家留學(xué)基金(20133018)資助
【分類號(hào)】：TQ127.11
【正文快照】： 0引言金剛石具有優(yōu)異的物理化學(xué)性能,具有高的硬度、熱導(dǎo)率和寬的帶隙、光學(xué)擊穿強(qiáng)度,高透射率光譜區(qū),優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性及良好的生物兼容性,在深紫外激光器、光探測(cè)器、場(chǎng)發(fā)射器、高功率半導(dǎo)體設(shè)備及表面聲波探測(cè)器等方面有廣泛的應(yīng)用[1-3]。飛秒(10-15s)激光微加工技術(shù)在微結(jié)

【參考文獻(xiàn)】

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【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：675749