本文關(guān)鍵詞：化學(xué)氣相沉積低溫各向同性熱解炭微觀結(jié)構(gòu)及沉積機(jī)制

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【摘要】：為了研究低溫各向同性熱解炭(LTIC)的微觀結(jié)構(gòu)及沉積機(jī)制,采用不同體積分?jǐn)?shù)的丙烷為碳源,在不同的沉積溫度下進(jìn)行穩(wěn)態(tài)流化床化學(xué)氣相沉積實(shí)驗(yàn)制備LTIC,借助SEM和TEM對(duì)不同沉積條件下制備的LTIC微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行表征和分析。結(jié)果表明:不同沉積條件下制備的LTIC由類球形顆粒狀和片層狀炭結(jié)構(gòu)組成,沉積溫度升高,降低了熱解炭在氣相中的形核勢(shì)壘,LTIC中類球形顆粒數(shù)量增多,尺寸變小,且類球形顆粒內(nèi)包圍炭黑顆粒的炭層織構(gòu)逐漸降低;丙烷體積分?jǐn)?shù)升高,熱解炭沉積過(guò)程逐漸由以表面生長(zhǎng)機(jī)制為主轉(zhuǎn)變?yōu)橐詺庀嘈魏藱C(jī)制為主,所制備的LTIC中類球形顆粒形貌越來(lái)越明顯,而片層狀炭結(jié)構(gòu)逐漸減少甚至完全消失。
【作者單位】： 杭州電子科技大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 化學(xué)氣相沉積 流化床 低溫各向同性熱解炭 沉積條件 微觀結(jié)構(gòu) 沉積機(jī)制
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(50975070) 浙江省自然科學(xué)基金(LY12E05002)
【分類號(hào)】：TQ127.11
【正文快照】： 網(wǎng)絡(luò)出版地址:www.cnki.net/kcms/detail/11.1801.TB.20151112.1601.002.html引用格式:張建輝,鄭艷真.化學(xué)氣相沉積低溫各向同性熱解炭微觀結(jié)構(gòu)及沉積機(jī)制[J].復(fù)合材料學(xué)報(bào),2016,33(8):1812-1818.ZHANG J H,ZHENG Y Z.Microstructure and deposition mechanism of low tempera

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