發(fā)布時間：2017-08-10 17:09

  本文關(guān)鍵詞：使用密閉空腔阻擋層的CVD石墨烯鼓泡法轉(zhuǎn)移

  更多相關(guān)文章： 石墨烯 化學氣相沉積(CVD) 電化學鼓泡法 轉(zhuǎn)移 密閉空腔

【摘要】：采用傳統(tǒng)電化學鼓泡法轉(zhuǎn)移的石墨烯破洞和褶皺較多。提出了一種改進型電化學鼓泡法轉(zhuǎn)移大面積化學氣相沉積石墨烯的技術(shù)。轉(zhuǎn)移過程中,利用聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)框和薄片在石墨烯和聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)支撐層的上方形成了一個密閉空腔。此空腔阻擋了水和H+離子對PMMA的直接透過,從而不會在石墨烯的上下表面產(chǎn)生H2氣泡,致使石墨烯產(chǎn)生破洞和褶皺,甚至發(fā)生斷裂。通過掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡、喇曼光譜檢測石墨烯形貌和結(jié)構(gòu),并制備場效應晶體管測量石墨烯載流子遷移率。結(jié)果表明,使用該方法轉(zhuǎn)移的石墨烯幾乎沒有破損,具有很好的均勻性,其載流子遷移率約為4 500 cm2·V-1·s-1,高于未做阻擋層處理而轉(zhuǎn)移的同類石墨烯樣品。
【作者單位】： 北京工業(yè)大學電子信息與控制工程學院;瑞典查爾姆斯理工大學微技術(shù)與納米科學系;
【關(guān)鍵詞】： 石墨烯 化學氣相沉積(CVD) 電化學鼓泡法 轉(zhuǎn)移 密閉空腔
【基金】：北京市自然科學基金面上項目(4152003)
【分類號】：TQ127.11
【正文快照】： 2.瑞典查爾姆斯理工大學微技術(shù)與納米科學系,哥德堡41296)0引言石墨烯是一種單層碳原子以sp2雜化方式緊密排列而成的蜂窩狀晶體結(jié)構(gòu)[1]。由于它出色的性能,在很多領域都受到越來越多的關(guān)注,包括半導體光電子學[2]、材料學[3]以及生命科學[4]等�；瘜W氣相沉積(CVD)是工業(yè)上用來

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本文編號：651875