本文關(guān)鍵詞：表面修飾金剛石薄膜導(dǎo)電性研究進(jìn)展

  更多相關(guān)文章： 金剛石 表面修飾 導(dǎo)電性

【摘要】：表面經(jīng)過不同化學(xué)修飾,金剛石薄膜會(huì)表現(xiàn)出不同的表面導(dǎo)電性能。這使得其在平面微電子、微電化學(xué)器件開發(fā)方面有著廣闊的應(yīng)用前景。總結(jié)國內(nèi)外的研究,結(jié)合近年來的研究成果,詳述了不同表面修飾金剛石薄膜的實(shí)現(xiàn)方法,討論了表面修飾金剛石薄膜的幾何結(jié)構(gòu)和電子結(jié)構(gòu),并對(duì)當(dāng)前有關(guān)表面修飾金剛石薄膜導(dǎo)電機(jī)理的主要觀點(diǎn)進(jìn)行了分析。在此基礎(chǔ)上,提出了今后不同表面修飾金剛石薄膜導(dǎo)電性的研究重點(diǎn)。
【作者單位】： 北方工業(yè)大學(xué)機(jī)械與材料工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 金剛石 表面修飾 導(dǎo)電性
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(50575004) 北京市自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(3162010)
【分類號(hào)】：TQ163;TB383.2
【正文快照】： 0引言金剛石具有原子密度大、硬度高、彈性模量大、帶隙寬、導(dǎo)熱性好和摩擦系數(shù)小等特點(diǎn),非常適用于制作工具涂層、大功率激光器、表面波器件以及光學(xué)窗口材料等,受到研究者的廣泛關(guān)注。同時(shí),由于化學(xué)氣相沉積工藝的出現(xiàn)和摻雜技術(shù)的發(fā)展,導(dǎo)電性良好的金剛石薄膜實(shí)現(xiàn)了常壓低

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 李超杰;;金剛石薄膜的研究現(xiàn)狀與發(fā)展前景[J];硅谷;2013年08期

2 陳侖,鄭周,張明,趙豪民;燃焰法生長高質(zhì)量金剛石薄膜的研究[J];磨料磨具與磨削;1992年02期

3 李榮勇;;一種加工金剛石薄膜的新方法[J];四川化工;1994年04期

4 丁發(fā)柱;石玉龍;;直流等離子體-熱絲化學(xué)氣相沉積金剛石薄膜的研究[J];金剛石與磨料磨具工程;2006年01期

5 劉素田;唐偉忠;耿春雷;呂反修;;納米金剛石薄膜的制備和應(yīng)用[J];金剛石與磨料磨具工程;2006年01期

6 韓杰才;高巍;朱嘉琦;;金剛石薄膜抗激光破壞研究[J];新型炭材料;2007年01期

7 楊德威;栗正新;苑執(zhí)中;;CVD金剛石薄膜技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀及展望(上)[J];超硬材料工程;2012年02期

8 楊德威;栗正新;苑執(zhí)中;;CVD金剛石薄膜技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀及展望(下)[J];超硬材料工程;2012年03期

9 華中杰;金剛石薄膜燃焰法合成工藝發(fā)展簡介[J];磨料磨具與磨削;1992年05期

10 李榮勇;一種加工金剛石薄膜的新方法[J];四川化工;1994年S4期

中國重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 田浩希;趙約瑟;;微波等離子體化學(xué)氣相沉積金剛石薄膜的制備[A];第十二屆全國微波能應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2005年

2 田如海;趙建文;只金芳;;金剛石薄膜表面圖形化金屬層的制備[A];中國化學(xué)會(huì)第二十五屆學(xué)術(shù)年會(huì)論文摘要集（上冊）[C];2006年

3 尹龍承;黃海亮;何憲陽;王丹;彭鴻雁;陳玉強(qiáng);;沉積溫度對(duì)直流等離子體CVD法在硬質(zhì)合金表面制備金剛石薄膜的影響[A];第七屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議論文集（第4分冊）[C];2010年

中國重要報(bào)紙全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 金展;中國金剛石薄膜開發(fā)獲重大進(jìn)展[N];中國有色金屬報(bào);2002年

2 記者 周文斌;我金剛石薄膜技術(shù)達(dá)世界先進(jìn)水平[N];光明日報(bào);2001年

3 劉苒;我國金剛石薄膜開發(fā)取得重大進(jìn)展[N];科技日報(bào);2001年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 張建國;高性能金剛石涂層制備及其在CFRP鉆削中的應(yīng)用研究[D];上海交通大學(xué);2014年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 艾杰;探索碳膜在不同工況環(huán)境中的摩擦學(xué)性能[D];中國地質(zhì)大學(xué)(北京);2015年

2 張婷;HFCVD法制備金剛石膜以及工藝參數(shù)對(duì)薄膜的影響[D];河南工業(yè)大學(xué);2016年

3 王冰;微波等離子體化學(xué)氣相沉積高速生長金剛石薄膜的研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2014年

4 石雙振;碳化硅基外延金剛石薄膜及其性質(zhì)研究[D];河北工業(yè)大學(xué);2015年

5 張瑩;氮等離子體對(duì)金剛石薄膜的影響研究[D];武漢工程大學(xué);2015年

6 趙海嘯;n型納米金剛石薄膜的制備與電學(xué)性能研究[D];浙江工業(yè)大學(xué);2014年

7 王銳;離子注入納米金剛石薄膜的微結(jié)構(gòu)與電化學(xué)性能研究[D];浙江工業(yè)大學(xué);2014年

8 崔曉慧;納米金剛石薄膜摻硼的工藝研究[D];武漢工程大學(xué);2015年

9 李念;氧離子注入超納米金剛石薄膜的電學(xué)性能及n型導(dǎo)電機(jī)理研究[D];浙江工業(yè)大學(xué);2014年

10 許立;摻氮N型納米金剛石薄膜的制備與S波段微波場發(fā)射性能研究[D];西南科技大學(xué);2015年

，

本文編號(hào)：574894