發(fā)布時(shí)間：2017-07-20 14:12

  本文關(guān)鍵詞：碳納米管接觸電阻的研究進(jìn)展

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【摘要】：與金屬之間過(guò)高的接觸電阻是影響碳納米管在微納電子器件中應(yīng)用的關(guān)鍵因素之一,本文從形成機(jī)理和改善方法兩個(gè)方面綜述了近年來(lái)碳納米管接觸電阻的研究進(jìn)展。介紹了利用第一性原理對(duì)碳納米管與金屬界面電子輸運(yùn)性能的理論研究,以及金屬功函數(shù)對(duì)界面勢(shì)壘調(diào)試作用的實(shí)驗(yàn)研究。研究表明金屬與碳納米管之間具有較弱的雜化作用和較長(zhǎng)的接觸長(zhǎng)度時(shí),接觸電阻較小;金屬與碳納米管功函數(shù)越接近,勢(shì)壘高度越低。闡述了超聲焊接技術(shù)、高溫退火法、金屬沉積法、局部焦耳熱法等常用降低碳納米管接觸電阻方法的作用機(jī)理,并分析了這些方法對(duì)器件性能的改善作用。其中局部焦耳熱法操作簡(jiǎn)單、易于自動(dòng)化、對(duì)器件損害小、成本低,是目前比較理想的降低碳納米管接觸電阻的方法。
【作者單位】： 華北理工大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 碳納米管 接觸電阻 第一性原理 功函數(shù) 降阻方法
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(51172062,51472074) 河北省引進(jìn)海外高層次人才“百人計(jì)劃”資助項(xiàng)目(E2012100005)
【分類號(hào)】：TQ127.11;TB383.1
【正文快照】： 由于理想的一維結(jié)構(gòu)和獨(dú)特的物理、化學(xué)性質(zhì)[1-3],碳納米管有望被廣泛應(yīng)用于場(chǎng)效應(yīng)管和傳感器等各種微納電子器件中[4]。例如,Fu等[5]以鐵電極為柵極制成了具有存儲(chǔ)功能的碳納米管場(chǎng)效應(yīng)管;Stampfer等[6]制作了碳納米管壓力傳感器,并實(shí)現(xiàn)了0~130 k Pa的高精度壓力測(cè)量。碳納米

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前5條

1 齊文凱;;電解槽陽(yáng)極接觸電阻測(cè)量方法比較[J];氯堿工業(yè);1990年04期

2 К.К.Дубовиков;博長(zhǎng);;電極接頭處接觸電阻的模型[J];炭素技術(shù);1988年02期

3 賴龍君,陳紹同;錫鈰/DJB-823涂層代銀[J];材料保護(hù);1989年07期

4 譚俊;邢汝鑫;錢耀川;;磁控濺射CrNx薄膜的接觸電阻及其耐腐蝕性能[J];中國(guó)表面工程;2010年06期

5 ;[J];;年期

，

本文編號(hào)：568409