本文關(guān)鍵詞：多晶硅生產(chǎn)中廢氣處理工藝改造

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【摘要】：針對(duì)多晶硅生產(chǎn)中廢氣處理工藝存在的問題其進(jìn)行改造,改造后廢氣中約有92.1%的氯硅烷被回收利用,堿液的月平均消耗量減少約500 t;放空氣體中有毒有害成分的質(zhì)量分?jǐn)?shù)由17.6%降至0.08%;著火和爆炸事故等安全問題已徹底消除,生產(chǎn)系統(tǒng)的穩(wěn)定性得到改善,多晶硅的月均產(chǎn)量和產(chǎn)品合格率分別提高約13.8%和4.7%。
【作者單位】： 樂山職業(yè)技術(shù)學(xué)院;四川新光硅業(yè)科技有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 多晶硅 廢氣 處理 工藝改造
【基金】：四川省循環(huán)經(jīng)濟(jì)研究中心課題(XHJJ-1407)
【分類號(hào)】：X781
【正文快照】： 隨著太陽能光伏產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,多晶硅的需求將持續(xù)增長(zhǎng)[1-2]。多晶硅生產(chǎn)中產(chǎn)生的廢氣大多屬于易燃易爆、有毒有害物質(zhì),主要來源于精餾工序、還原工序、尾氣回收工序(CDI)、氫化工序和合成工序等[3]。多晶硅生產(chǎn)中廢氣的處理方法主要有水洗法、焚燒法和堿液淋洗法。水洗法是

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【相似文獻(xiàn)】

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