流場分布對(duì)納米結(jié)構(gòu)模板電沉積成型質(zhì)量的影響
本文選題:納米結(jié)構(gòu) 切入點(diǎn):電沉積 出處:《中南大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版)》2017年05期
【摘要】:提出采用新型陰極多自由度運(yùn)動(dòng)電沉積技術(shù)制作納米結(jié)構(gòu)模塑成型鎳模板,研究不同流場分布狀態(tài)下電沉積成型模板的厚度分布、表面質(zhì)量和納米結(jié)構(gòu)成型精度。研究結(jié)果表明:陰極定軸轉(zhuǎn)動(dòng)可使其表面流體流動(dòng)增強(qiáng),但對(duì)電解液的整體攪拌作用較弱,需輔助高壓空氣攪拌等措施以增強(qiáng)傳質(zhì)效果;陰極水平往復(fù)運(yùn)動(dòng)對(duì)電解液整體攪拌作用較強(qiáng),但陰極表面電鑄液流動(dòng)性較差,上部區(qū)域存在流動(dòng)死角;當(dāng)陰極定軸旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速為150 r/min,水平往復(fù)移動(dòng)速度為250 mm/s時(shí),鍍層厚度偏差可分別降低至17.26%和20.93%;運(yùn)動(dòng)陰極電沉積制得的鎳模板表面氣孔缺陷明顯減少,納米結(jié)構(gòu)的復(fù)制精度顯著提高,可應(yīng)用于納米結(jié)構(gòu)模塑成型工藝。
[Abstract]:The thickness distribution , surface quality and nano - structure forming precision of electrodeposition forming template under different flow field distributions were studied . The results showed that the thickness distribution , surface quality and nano - structure forming precision of electrodeposition forming template under different flow field distributions were studied .
【作者單位】: 中南大學(xué)高性能復(fù)雜制造國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】:國家自然科學(xué)基金重大研究計(jì)劃培育項(xiàng)目(91123012) 國家重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展計(jì)劃(973計(jì)劃)項(xiàng)目(2012CB025905)~~
【分類號(hào)】:TQ153
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,本文編號(hào):1695497
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