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基于MOS的氣敏材料的制備及特性研究

發(fā)布時(shí)間:2018-03-10 21:52

  本文選題:ZnO 切入點(diǎn):碳納米管 出處:《中北大學(xué)》2015年碩士論文 論文類型:學(xué)位論文


【摘要】:隨著科學(xué)技術(shù)及工業(yè)化的快速發(fā)展,易燃易爆等有毒氣體在得到廣泛使用的同時(shí),也帶來了嚴(yán)重的大氣污染,許多城市都出現(xiàn)霧霾天氣,嚴(yán)重危害了人們的健康。人們對(duì)氣體的檢測顯得格外重視,更是對(duì)傳感器的性能有了更精確的要求。因此,本文主要對(duì)碳納米管摻雜金屬氧化物的復(fù)合材料的氣敏特性進(jìn)行了研究,以提高材料的氣敏性能,這對(duì)治理當(dāng)前的環(huán)境污染問題具有重要的參考價(jià)值。 本文介紹了金屬氧化物和碳納米管的氣敏原理,以ZnO為金屬氧化物的代表,從制備工藝和摻雜兩種方法研究對(duì)氣敏特性的改善,并圍繞CNT/MOS的氣敏特性展開重點(diǎn)研究,探索了幾種復(fù)合材料的氣敏機(jī)理。主要研究內(nèi)容如下: (1)研究了RF磁控濺射ZnO薄膜的制備參數(shù)和氣敏性能。在不同的濺射參數(shù)下制備ZnO薄膜,通過對(duì)襯底溫度、退火溫度和氧氬比對(duì)薄膜的結(jié)晶質(zhì)量、生長結(jié)構(gòu)及電阻率的影響,得出了制備ZnO薄膜的優(yōu)化參數(shù)。通過氣敏性測試,可知該薄膜在225℃下對(duì)1.0%甲烷和乙醇有70%以上的響應(yīng),不僅適當(dāng)降低了材料的工作溫度,,還提高了靈敏度。 (2)研究了碳納米管摻雜對(duì)ZnO氣敏特性的影響。選用溶膠凝膠工藝制備ZnO粉末,并制成CNT/ZnO復(fù)合材料。實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn),碳納米管的加入降低了材料的電阻,而且摻入量為1%的碳納米管,不僅將ZnO的工作溫度由300℃降低到250℃,還將對(duì)100ppm乙醇的響應(yīng)提高了近6倍,并體現(xiàn)了很好的選擇性。 (3)研究了碳納米管摻雜WO3、SnO2的氣敏特性。采用沉淀法制得WO3粉末并與碳納米管合成了CNT/WO3復(fù)合材料。實(shí)驗(yàn)表明碳納米管的摻雜降低了WO3的電阻,提高了靈敏度,并對(duì)氨氣和二氧化氮具有較好的選擇性。以氯化亞錫為原材料,利用溶膠凝膠工藝制備SnO2粉末并合成了CNT/SnO2復(fù)合材料。實(shí)驗(yàn)表明碳納米管的摻雜改善了SnO2對(duì)H2S的靈敏度,并表現(xiàn)了良好的選擇性。此外,合成的CNT/WO3/SnO2復(fù)合材料比CNT/SnO2、CNT/WO3、SnO2/WO3對(duì)NO2的靈敏度都高,且對(duì)1ppm NO2的響應(yīng)達(dá)80%,明顯改善了選擇性,證明了多重?fù)诫s是提升金屬氧化物選擇性的一種很好的方法。 (4)探討了CNT/ZnO、CNT/SnO2、CNT/WO3和CNT/WO3/SnO2幾種復(fù)合材料的氣敏機(jī)理。
[Abstract]:......
【學(xué)位授予單位】:中北大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2015
【分類號(hào)】:TB381;TQ132.41

【參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào):1595222

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