本文關(guān)鍵詞：反歧化法制備三氯氫硅工藝的研究與優(yōu)化

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【摘要】：以改良西門子法多晶硅生產(chǎn)過程中副產(chǎn)物二氯二氫硅和四氯化硅為原料生產(chǎn)三氯氫硅。應(yīng)用Aspen Plus軟件進行工藝模擬和優(yōu)化,同時進行催化劑的選型。采用固定床反應(yīng)器,對模擬結(jié)果進行優(yōu)化,以二氯二氫硅空速、反應(yīng)溫度、反應(yīng)壓力為試驗參數(shù)進行正交試驗,確定最佳工藝條件。采用氣相色譜對原料和產(chǎn)物進行檢測。實際生產(chǎn)結(jié)果表明:在最佳反應(yīng)條件即反應(yīng)溫度為55℃、反應(yīng)壓力為0.7 MPa(G)、反應(yīng)物空速為250 kg/h條件下,轉(zhuǎn)化率均介于98%—99%之間,滿足實際生產(chǎn)的需求。
【作者單位】： 亞洲硅業(yè)(青海)有限公司;
【基金】：“十二五”國家科技支撐計劃資助項目(2011BAE03B09)
【分類號】：TQ127.2
【正文快照】： 二氯二氫硅(Si H2Cl2,DCS)是多晶硅生產(chǎn)中的一種重要的副產(chǎn)物,相比于四氯化硅(Si Cl4,STC),目前在國內(nèi)的研究較少,常溫常壓下為刺激性和腐蝕性的無色有毒氣體,在空氣中易燃,加熱至100℃以上時會自行分解[1]。在改良西門子法生產(chǎn)多晶硅的各個過程中,均有一定量的DCS生成,整體轉(zhuǎn)

【相似文獻】

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6 耍旭祥 崔勇;三氯氫硅行情反轉(zhuǎn)在即[N];中國化工報;2013年

7 張連學(xué) 余后從 張平安;三氯氫硅生產(chǎn)的火災(zāi)危險及對策[N];人民公安報;2002年

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本文編號：1277012