本文關(guān)鍵詞：掠射角磁控濺射沉積納米結(jié)構(gòu)氧化鎢薄膜

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【摘要】：氧化鎢是一種過(guò)渡金屬氧化物,在電致變色器件、氣敏傳感器、光觸媒等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。氧化鎢薄膜透射率變化高,可逆性好,相對(duì)價(jià)格低,循環(huán)使用壽命長(zhǎng)且無(wú)毒,是研究最早的電致變色材料,同時(shí)也是應(yīng)用最廣泛的電致變色材料,可被應(yīng)用于汽車和建筑物的玻璃上,制造節(jié)約能源,調(diào)節(jié)光線和控制熱負(fù)荷的智能窗。然而,氧化鎢在響應(yīng)時(shí)間、致色效率及循環(huán)使用壽命等方面的不足仍制約其實(shí)際應(yīng)用。本研究選擇納米結(jié)構(gòu)氧化鎢作為研究對(duì)象,分別采用直流掠射角磁控濺射和脈沖掠射角磁控濺射方法,在不同工藝參數(shù)條件、不同襯底上成功制備了具有納米柱狀結(jié)構(gòu)的氧化鎢薄膜。通過(guò)XRD,SEM等分析手段表征了不同工藝參數(shù)對(duì)薄膜表面形貌、微觀結(jié)構(gòu)、透光度和電致變色性能的影響。主要研究結(jié)果如下:(1)氧分壓對(duì)氧化鎢薄膜形貌、結(jié)構(gòu)和透光度的影響。確定了直流和脈沖電源最佳氬氧比分別為:3:2(氬氣為0.3 Pa,氧氣為0.2 Pa)和2:3(氬氣為0.2 Pa,氧氣為0.3 Pa)。(2)掠射角度對(duì)氧化鎢薄膜晶體結(jié)構(gòu)、形貌和透光度的影響。當(dāng)掠射角度大于60°時(shí),得到了具有納米斜柱狀結(jié)構(gòu)的氧化鎢薄膜。隨著掠射角度增加,納米結(jié)構(gòu)明顯,比表面積增大。(3)熱處理對(duì)氧化鎢薄膜晶體結(jié)構(gòu)和形貌的影響。室溫時(shí),掠射角磁控濺射沉積所得氧化鎢薄膜為非晶態(tài),經(jīng)過(guò)450 o C熱處理后薄膜轉(zhuǎn)變成單斜晶體結(jié)構(gòu),納米柱狀結(jié)構(gòu)消失,納米柱之間由于熱擴(kuò)散作用,彼此相連,形成了納米多孔結(jié)構(gòu)。(4)優(yōu)化了在ITO/PET柔性襯底上沉積氧化鎢薄膜時(shí)脈沖電源最大濺射功率和最大襯底加熱電壓。確定最大濺射功率是90 W,最大襯底加熱電壓是50 V。(5)納米結(jié)構(gòu)氧化鎢薄膜的著-褪色響應(yīng)時(shí)間分別為10 s和2 s,致密氧化鎢薄膜著-褪色響應(yīng)時(shí)間分別為17 s和6 s,當(dāng)波長(zhǎng)范圍為500-600 nm時(shí),光密度變化量(△OD)分別為66.42%和36.80%�？梢�(jiàn),掠射角磁控濺射沉積所得納米結(jié)構(gòu)氧化鎢薄膜電致變色性能明顯優(yōu)于傳統(tǒng)磁控濺射制備所得致密氧化鎢薄膜。
【學(xué)位授予單位】：沈陽(yáng)大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類號(hào)】：TQ136.13;TB383.2

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中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 ;由江西泰河山鎢礦石所萃取氧化鎢之凈化研究[J];化工學(xué)報(bào);1950年Z1期

2 徐兆華;盛奕;;由鎢錳鐵礦提取高純度氧化鎢[J];杭州大學(xué)學(xué)報(bào);1959年05期

3 金萬(wàn)逸,馬樹(shù)欽;利用火花源質(zhì)譜增值法定量分析氧化鎢[J];質(zhì)譜學(xué)雜志;1983年03期

4 王志寬;;蘭色氧化鎢中銨離子的直接蒸餾法測(cè)定[J];化工冶金;1983年04期

5 邵丙銑,陳祥君,鄭慶平,戎瑞芬;氧化鎢薄膜微型電化學(xué)器件的研究[J];分析化學(xué);1993年07期

6 張青龍;吳國(guó)友;朱華;沈毅;;納米氧化鎢薄膜的制備方法及其性質(zhì)研究[J];無(wú)機(jī)鹽工業(yè);2006年01期

7 A.K.Basu;程會(huì)文;;用干氫還原蘭色氧化鎢[J];湖南冶金;1980年01期

8 龐風(fēng)榮;;鐵水連續(xù)測(cè)溫用抗氧化鎢錸偶代鉑銠偶的試驗(yàn)研究[J];鑄造技術(shù);1990年06期

9 廖寄喬,王華;氧化鎢物理特征的分析[J];粉末冶金材料科學(xué)與工程;2002年03期

10 高麟,王世良,賀躍輝,黃伯云;絨球狀結(jié)構(gòu)氧化鎢的制備[J];中國(guó)有色金屬學(xué)報(bào);2004年09期

中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前7條

1 蘇程裕;楊宗坤;林中魁;林文;;電漿電弧氣凝合成法制備氧化鎢奈米棒之研究[A];中國(guó)顆粒學(xué)會(huì)2006年年會(huì)暨海峽兩岸顆粒技術(shù)研討會(huì)論文集[C];2006年

2 余錢紅;牟婉君;謝翔;李興亮;張銳;魏洪源;;鉭摻雜球形氧化鎢的合成與性能研究[A];中國(guó)化學(xué)會(huì)第29屆學(xué)術(shù)年會(huì)摘要集——第33分會(huì)：納米材料合成與組裝[C];2014年

3 姜文偉;陳響明;;氧化鎢微觀結(jié)構(gòu)的研究[A];2010(南昌)中西部第三屆有色金屬工業(yè)發(fā)展論壇論文集[C];2010年

4 呂彥力;徐甲強(qiáng);閆秀鑾;李超;邵晨;;摻雜對(duì)氧化鎢氨敏特性的影響[A];第三屆中國(guó)功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];1998年

5 李竹影;章銘亮;楊少紅;馬云;;由溶膠-凝膠法制備的摻氧化鉬的氧化鎢薄膜的電致變色性能[A];第六屆中國(guó)功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議論文集（1）[C];2007年

6 劉飛;郭同義;李立方;莫小姝;甘海波;陳軍;鄧少芝;許寧生;;高品質(zhì)氧化鎢納米線的低溫定域制備工藝及單根納米線的物性研究[A];中國(guó)化學(xué)會(huì)第28屆學(xué)術(shù)年會(huì)第4分會(huì)場(chǎng)摘要集[C];2012年

7 黃凱;潘清濤;楊豐;倪世兵;賀德衍;;氧化鎢納米針尖陣列的制備與場(chǎng)發(fā)射性能研究[A];第十六屆全國(guó)半導(dǎo)體物理學(xué)術(shù)會(huì)議論文摘要集[C];2007年

中國(guó)重要報(bào)紙全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前3條

1 記者 王怡 通訊員 叢杉;新型氧化鎢量子點(diǎn)電極材料問(wèn)世[N];科技日?qǐng)?bào);2014年

2 ;氧化鎢光觸媒輕松抗菌凈化空氣[N];科技日?qǐng)?bào);2014年

3 《經(jīng)濟(jì)學(xué)人》 徐瑤 譯;為光伏發(fā)電捕獲更多陽(yáng)光[N];中國(guó)電力報(bào);2014年

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前4條

1 張克偉;氣敏和光催化導(dǎo)向的氧化鎢納米結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與改性[D];北京化工大學(xué);2014年

2 李嘉胤;氧化鎢水合物微/納米材料的可控合成及其性能研究[D];陜西科技大學(xué);2013年

3 徐宇興;一維納米結(jié)構(gòu)氧化鎢的制備、表征和氣敏性能研究[D];清華大學(xué);2009年

4 孫士斌;低維納米結(jié)構(gòu)氧化鎢和二硫化鎢的制備及結(jié)構(gòu)研究[D];山東大學(xué);2009年

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 李葉晨;溶劑熱法制備納米氧化鎢(W_(18)O_(49))及其性能研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2015年

2 郭曉曉;納米氧化鎢的制備及其光催化性能的研究[D];中北大學(xué);2016年

3 司慧蘭;三氧化鎢基氣敏材料的形貌控制和銅摻雜對(duì)丙酮響應(yīng)的影響[D];鄭州大學(xué);2016年

4 陳鋒;一維氧化鎢納米線的合成、表征及應(yīng)用[D];五邑大學(xué);2016年

5 朱紅波;氧化鎢氫還原過(guò)程時(shí)砷致鎢粉細(xì)化機(jī)理及在超細(xì)晶WC-Co硬質(zhì)合金中的應(yīng)用[D];南昌大學(xué);2016年

6 李棟棟;氧化鎢作為空穴注入層提高量子點(diǎn)發(fā)光二極管性能和壽命的研究[D];河南大學(xué);2016年

7 宋開(kāi)南;醇熱法制備納米氧化鎢（W_(18)O_(49)）及其光催化性能研究[D];新疆大學(xué);2016年

8 溫佳星;掠射角磁控濺射沉積納米結(jié)構(gòu)氧化鎢薄膜[D];沈陽(yáng)大學(xué);2016年

9 徐英明;氧化鎢基納米材料的制備與物理化學(xué)性質(zhì)研究[D];黑龍江大學(xué);2005年

10 覃紅麗;介孔氧化鎢和硫化鎢材料的合成與表征[D];福州大學(xué);2005年

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本文編號(hào)：1173950