鋁納米線陣列的制備及生長(zhǎng)機(jī)理
本文關(guān)鍵詞:鋁納米線陣列的制備及生長(zhǎng)機(jī)理
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【摘要】:分別利用高密度電流和高溫加熱作為驅(qū)動(dòng)力,在不同試樣中產(chǎn)生原子遷移現(xiàn)象,并進(jìn)行對(duì)比試驗(yàn)研究制備鋁納米線陣列的可行性。試驗(yàn)結(jié)果表明,在局部區(qū)域利用高密度電流成功制備了鋁納米線陣列。由于試樣制備過(guò)程中蝕刻工藝帶來(lái)的誤差,導(dǎo)致電流密度相應(yīng)變化,使試樣在部分區(qū)域出現(xiàn)了爆破現(xiàn)象。高溫加熱的試樣表面產(chǎn)生了大量鋁納米顆粒,但是由于原子遷移強(qiáng)度過(guò)低,未能在對(duì)應(yīng)試樣中制備出鋁納米線陣列。
【作者單位】: 嘉興學(xué)院機(jī)電工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】: 原子遷移 鋁納米線 陣列 原子積聚
【基金】:國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(51305165) 浙江省錢(qián)江人才項(xiàng)目(QJD1302007)
【分類號(hào)】:TB383.1;TQ133.1
【正文快照】: 0引言金屬納米材料是目前的熱門(mén)研究之一[1-3],例如銅納米線、銀納米線和鋁納米線已經(jīng)成為了微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)和小型機(jī)械系統(tǒng)的必要組成材料。鋁具有工藝性好和制備成本低的優(yōu)勢(shì),因此近年來(lái)出現(xiàn)了眾多制備鋁納米線的報(bào)道。由于鋁獨(dú)特的物理化學(xué)性質(zhì),因此常用的化學(xué)氣相沉積法
【相似文獻(xiàn)】
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中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前3條
1 林健;李博芳;井沖;黃文e,
本文編號(hào):1102274
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