本文關(guān)鍵詞：等離子體氣相凝聚技術(shù)制備銅納米團簇薄膜的沉積速率研究

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【摘要】：采用等離子體氣相凝聚技術(shù)并結(jié)合差分抽氣技術(shù)產(chǎn)生銅納米團簇束流,然后在襯底上沉積銅納米團簇薄膜,研究了濺射電流、氬氣流量和結(jié)露區(qū)長度對其沉積速率的影響。利用X射線衍射儀和透射電子顯微鏡對薄膜微結(jié)構(gòu)進行了表征。結(jié)果表明:保持其他參數(shù)不變的情況下,增加濺射電流和氬氣流量,銅納米團簇薄膜的沉積速率均呈現(xiàn)先增大后減小的趨勢,而結(jié)露區(qū)長度對沉積速率的影響無明顯規(guī)律,這主要歸因于銅納米團簇粒子的平均自由程變化。銅納米團簇薄膜主要由粒徑約為幾納米的團簇顆粒組成,其結(jié)晶程度較低。
【作者單位】： 西南科技大學極端條件物質(zhì)特性實驗室;中國工程物理研究院激光聚變研究中心等離子體物理重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 等離子體氣相凝聚技術(shù) 差分抽氣技術(shù) 銅納米團簇薄膜 沉積速率
【基金】：國家自然科學基金資助項目(11375159) 中國工程物理研究院科學技術(shù)發(fā)展基金資助項目(2012B0302051)
【分類號】：TB383.2;TQ131.21
【正文快照】： 隨著啁啾脈沖放大技術(shù)(CPA)[1]的應(yīng)用,超短超強脈沖激光強度已超過百TW達到PW量級,可獲得脈沖寬度為數(shù)十fs到數(shù)ps的超短超強脈沖激光。利用強激光與物質(zhì)相互作用,開辟了新的強場物理研究領(lǐng)域。fs激光脈沖與物質(zhì)相互作用會產(chǎn)生能量高達幾百MeV的質(zhì)子束、超熱電子等粒子、高能X

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本文編號：1097416