本文關(guān)鍵詞：基于共晶鍵合與對(duì)準(zhǔn)切割的壓電材料微細(xì)加工

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【摘要】：高硬度陶瓷材料的微加工一直是微細(xì)加工的難題。為了解決此難題,采用金膜為中間層的硅-鋯鈦酸鉛(Si-PZT)共晶鍵合工藝和帶進(jìn)刀標(biāo)記的PZT壓電陶瓷的切割加工,制備出塊狀PZT微結(jié)構(gòu)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,當(dāng)金膜厚為1μm時(shí),Si-PZT的共晶鍵合強(qiáng)度可達(dá)20 MPa以上。這個(gè)強(qiáng)度可為PZT材料的切割加工和應(yīng)用提供有力保障。Si-PZT共晶鍵合與PZT的對(duì)準(zhǔn)切割加工結(jié)合的方法可在微細(xì)領(lǐng)域加工PZT等超硬材料,為加工PZT微結(jié)構(gòu)陣列提供一種新途徑。
【作者單位】： 上海應(yīng)用技術(shù)大學(xué)理學(xué)院;日本立命館大學(xué)微系統(tǒng)系;
【關(guān)鍵詞】： 壓電陶瓷 微細(xì)加工 共晶鍵合 對(duì)準(zhǔn)切割 中間層
【基金】：科技部國(guó)際合作基金資助項(xiàng)目(2009DFB10330) 上海應(yīng)用技術(shù)學(xué)院光電精密檢測(cè)平臺(tái)建設(shè)基金資助項(xiàng)目(10210Q140005);上海應(yīng)用技術(shù)學(xué)院引進(jìn)人才啟動(dòng)基金資助項(xiàng)目(YJ2014-03)
【分類(lèi)號(hào)】：TQ174.1
【正文快照】： 0引言陶瓷材料具有高硬度、耐腐蝕、抗氧化等優(yōu)點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于航天、軍事和日常中的各個(gè)領(lǐng)域。其中具有壓電效應(yīng)的陶瓷材料在能源和動(dòng)力領(lǐng)域占有一席之地,鋯鈦酸鉛壓電陶瓷(PZT)最具代表性,壓電材料器件一直都是研究熱點(diǎn),如壓電能量收集器、壓電驅(qū)動(dòng)器、壓電泵等[1-6]。高硬

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