本文關(guān)鍵詞：淺談常規(guī)掃描電子顯微鏡的使用

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【摘要】：對常規(guī)掃描電子顯微鏡的基本原理及其結(jié)構(gòu)、荷電效應(yīng)和像散對成像的影響和解決方法、樣品要求和制備、觀測條件的選擇進行了較系統(tǒng)的論述。
【作者單位】： 北京印刷學(xué)院北京市印刷電子工程技術(shù)研究中心;
【關(guān)鍵詞】： 掃描電子顯微鏡 樣品制備 觀測條件 荷電效應(yīng)
【分類號】：TN16
【正文快照】： 1前言掃描電鏡(SEM)是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀性貌觀察手段,可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進行微觀成像。掃描電鏡的優(yōu)點是,1有較高的放大倍數(shù),30~30萬倍之間連續(xù)可調(diào);2有很大的景深,視野大,成像富有立體感,可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結(jié)構(gòu);3試

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本文編號：991618