本文關(guān)鍵詞：飛秒激光加工SiC模型參數(shù)優(yōu)化設(shè)計(jì)研究

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【摘要】：開(kāi)展飛秒激光與SiC相互作用機(jī)理研究,探索飛秒激光加工SiC材料的作用機(jī)理與激光功率密度閾值、脈沖寬度、頻率、重疊率等參數(shù)的相互影響,這其中增加了在激光脈沖寬度范圍內(nèi)由于多種因素的影響,導(dǎo)致自由電子密度減少的因素;考慮了飛秒激光光束在被加工材料傳輸過(guò)程中由于被加工材料表面反射而造成的損失量,以及由于激光束電離后光電子與晶格發(fā)生碰撞而"反射、散射"造成的能量損失,從而對(duì)現(xiàn)有作用機(jī)理進(jìn)行理論模型優(yōu)化,通過(guò)比較研究和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證自由電子密度,為飛秒加工過(guò)程中激光與材料相互作用研究提供分析和參考。
【作者單位】： 天津工業(yè)大學(xué)天津市現(xiàn)代機(jī)電裝備技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 飛秒激光 SiC 自由電子密度 電子晶格溫度
【基金】：天津市高等學(xué)�？萍及l(fā)展基金計(jì)劃項(xiàng)目(No.20130402)資助
【分類(lèi)號(hào)】：TN249;TN304.24
【正文快照】： 1引言飛秒激光加工是微納加工領(lǐng)域一種重要的加工方法,其加工應(yīng)用范圍廣泛,從軟金屬到淬火鋼、不銹鋼、高速鋼、硬質(zhì)合金等難加工材料,到半導(dǎo)體、玻璃、陶瓷等硬脆非金屬材料[1]。飛秒加工重要特征表現(xiàn)在被加工工件尺度小、加工精度高、熱影響區(qū)近乎無(wú)等方面[2-3]。隨著現(xiàn)代工

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5 魯欣;張U，

本文編號(hào)：971323