本文關(guān)鍵詞：ADT 7100砂輪劃片機(jī)工作臺(tái)與刀盤座的參數(shù)分析

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【摘要】：對(duì)于金剛石砂輪劃片機(jī),工作臺(tái)與刀盤座的質(zhì)量和它們之間定位對(duì)劃片質(zhì)量有著重要的影響�；谝陨蠥DT公司的產(chǎn)品ADT7100劃片機(jī),介紹了工作臺(tái)的平面度、刀盤端面的跳動(dòng)誤差以及刀盤端面與X軸的平行度等參數(shù),分析了這些參數(shù)對(duì)劃片質(zhì)量和砂輪刀的影響;并結(jié)合實(shí)際,提出了針對(duì)這些參數(shù)的測(cè)量方法和超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)的解決方法。
【作者單位】： 南京電子器件研究所;
【關(guān)鍵詞】： 劃片機(jī) 工作臺(tái) 刀盤座
【分類號(hào)】：TN305
【正文快照】： 金剛石砂輪劃片機(jī)是圓片分離設(shè)備的一種,它采用高速旋轉(zhuǎn)的金剛石砂輪將已做好元器件的晶圓分割成獨(dú)立的單元。工作臺(tái)固定晶圓,刀盤座是固定砂輪,這兩者的屬性和它們之間的位置關(guān)系對(duì)劃片質(zhì)量有著直接的影響。其中工作臺(tái)平面度差使劃切量不一致;刀盤端面的端面圓跳動(dòng)、刀盤座上，

本文編號(hào)：960871