本文關(guān)鍵詞：用于355nm紫外激光器的消偏振二向色鏡

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【摘要】：采用離子束輔助電子束成膜,用雙重膜厚監(jiān)控方法監(jiān)控各膜層厚度,制備了45°入射、808nm高反、1064nm高透的消偏振二向色鏡,并用于全固態(tài)355nm激光器.將部分薄膜樣品在250℃進行退火處理后,用Lambda950分光光度計測試該樣品的光譜性能;用表面熱透鏡技術(shù)測量退火前后該樣品的弱吸收值;用激光閾值損傷裝置測試該樣品在1064nm調(diào)Q激光下的損傷閾值;用NIKON顯微鏡觀察樣品在不同激光能量輻照下的破斑形貌.實驗結(jié)果表明:波長為808nm和1 064nm時,薄膜透射率分別為0.04%和99.6%,符合設(shè)計要求,滿足全固態(tài)355nm紫外激光器系統(tǒng)所要求的光學(xué)性能指標;退火后的弱吸收值較退火前有所降低;在激光作用下薄膜產(chǎn)生微破壞噴出,說明膜層不會向災(zāi)難性破壞演變.
【作者單位】： 長春理工大學(xué)光電工程學(xué)院;重慶理工大學(xué)電子信息與自動化學(xué)院;西南技術(shù)物理研究所;國網(wǎng)重慶市電力公司電力科學(xué)研究院;
【關(guān)鍵詞】： 薄膜光學(xué) 紫外激光器 激光損傷 消偏振 光學(xué)性質(zhì) 膜厚
【基金】：國家自然科學(xué)基金(Nos.51275551,51505053) 重慶市基礎(chǔ)科學(xué)與前沿技術(shù)研究專項(No.cstc2015jcyjA40022)資助~~
【分類號】：O484.41;TN248
【正文快照】： -10013701properties;Film thicknessOCIS Codes:310.0310;140.0140;160.01600引言全固態(tài)355nm紫外激光器具有體積小、效率高、壽命長、光束質(zhì)量好、單光子能量大、分辨率高、穩(wěn)定性好及工作物質(zhì)無毒等優(yōu)點,在半導(dǎo)體、聚合物、陶瓷及銅質(zhì)合金等材料的加工方面具有明顯的優(yōu)勢和

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本文編號：950595