本文關(guān)鍵詞：ArF準分子激光系統(tǒng)的能量效率特性

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【摘要】：為深入理解ArF準分子激光系統(tǒng)的運轉(zhuǎn)機制,進而獲得優(yōu)化ArF準分子激光系統(tǒng)設(shè)計的理論及方向性指導,利用一維流體模型,以氣體高壓放電等離子體深紫外激光輻射過程為主要對象,研究了放電抽運ArF準分子激光系統(tǒng)的動力學特性,梳理了ArF準分子激光系統(tǒng)的能量傳遞過程,深入研究了等離子體放電機理,從能量沉積效率、ArF*粒子形成過程、激光輸出三個方面,分析了動力學過程中影響能量效率的主要因素,提出了相應(yīng)的改進優(yōu)化措施.仿真結(jié)果表明,氟氣及相關(guān)粒子在系統(tǒng)運轉(zhuǎn)過程中有重要作用,工作氣體中氟氣的組分比例對能量效率影響較大,偏離最佳點會導致激光系統(tǒng)能量效率的下降.相關(guān)結(jié)論為ArF準分子激光系統(tǒng)的優(yōu)化設(shè)計和穩(wěn)定可靠運轉(zhuǎn)提供了重要的理論參考依據(jù).
【作者單位】： 中國科學院光電研究院;北京市準分子激光工程技術(shù)研究中心;中國科學院大學;華中科技大學武漢光電國家實驗室;
【關(guān)鍵詞】： ArF準分子激光 能量效率 流體模型 電子密度
【基金】：中國科學院光電研究院創(chuàng)新基金(批準號:Y50B16A12Y) 國家科技重大專項(批準號:2013ZX02202)資助的課題~~
【分類號】：TN24
【正文快照】： 1引言 目前,Ar F準分子激光系統(tǒng)是國際半導體光刻機的主流光源[1],由于激光系統(tǒng)的能量效率直接關(guān)系到激光器的整體輸出性能,因而對Ar F準分子激光系統(tǒng)的能量效率特性進行綜合分析非常重要.通過數(shù)值模擬,探討準分子激光系統(tǒng)的放電動力學過程,深化理解能量轉(zhuǎn)移過程及能量利用效

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本文編號：912259