本文關(guān)鍵詞：光刻物鏡中主動(dòng)透鏡的變形和像差特性

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【摘要】：高精度光刻投影物鏡在工作過(guò)程中吸收激光能量產(chǎn)生熱像差,在離軸照明模式(如偶極照明)下,熱像散顯著且隨時(shí)間變化,傳統(tǒng)的被動(dòng)光學(xué)方法無(wú)法補(bǔ)償此類像差。提出在折射式光刻投影物鏡系統(tǒng)中使用主動(dòng)光學(xué)的方法,通過(guò)力促動(dòng)器作用在透鏡上使鏡片變形以補(bǔ)償初階熱像散。采用有限元分析方法,分析了簡(jiǎn)化的折射平板在促動(dòng)力作用下的變形特點(diǎn)和像差特性;用幾何光學(xué)理論近似論證了該補(bǔ)償方案的可行性,并且分析了促動(dòng)器分布、促動(dòng)力大小、促動(dòng)器與平板接觸區(qū)域尺寸以及支撐結(jié)構(gòu)對(duì)平板變形的影響。結(jié)果表明,在優(yōu)化的支撐結(jié)構(gòu)下,主動(dòng)平板可以較好地補(bǔ)償系統(tǒng)初階熱像散和初階四葉像差,為光刻系統(tǒng)熱像差的補(bǔ)償提供了一個(gè)思路。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 光學(xué)設(shè)計(jì) 主動(dòng)光學(xué) 光刻物鏡 熱像差補(bǔ)償 像散
【基金】：科技部中白合作項(xiàng)目(2011DFR10010) 吉林省自然科學(xué)基金(20140203001GX)
【分類號(hào)】：TN305.7
【正文快照】： 1引言高精度光刻投影物鏡在長(zhǎng)時(shí)間工作過(guò)程中,由于鏡片吸收熱量造成溫度升高,導(dǎo)致折射率、面型以及應(yīng)力狀態(tài)改變,從而產(chǎn)生熱像差,系統(tǒng)分辨率明顯降低。為了減小裝調(diào)誤差及裝調(diào)應(yīng)力的影響,光刻物鏡中部分透鏡單元可以通過(guò)微調(diào)機(jī)構(gòu)進(jìn)行姿態(tài)調(diào)整,以補(bǔ)償由誤差引起的傾斜以及關(guān)于

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本文編號(hào)：904926