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塑封碳化硅肖特基二極管粘片工藝

發(fā)布時間:2017-09-22 18:04

  本文關(guān)鍵詞:塑封碳化硅肖特基二極管粘片工藝


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【摘要】:粘片工藝是塑封碳化硅肖特基二極管封裝中的關(guān)鍵工藝,實現(xiàn)了芯片背面金屬與引線框架的物理連接與電連接,對器件的參數(shù)以及可靠性影響較大。我們發(fā)現(xiàn)器件生產(chǎn)中或者器件可靠性的多種失效模式都產(chǎn)生于粘片工藝。我們通過對焊料成分、拍錫頭結(jié)構(gòu),工藝參數(shù)的優(yōu)化等,使器件的品質(zhì)大大提升。
【作者單位】: 濟南市半導(dǎo)體元件實驗所;
【關(guān)鍵詞】粘片 焊料 拍錫頭 焊料空洞率 焊料熱疲勞 芯片背裂
【分類號】:TN311.7
【正文快照】: 1概述芯片的背面電極與引線框架的物理連接及電連接是通過粘片工藝實現(xiàn)的。粘片工藝實現(xiàn)情況的好壞直接影響到器件的參數(shù)與可靠性,特別是對于功率器件的影響更加明顯。對于TO-220、TO-263、TO-247封裝的功率型塑封碳化硅肖特基二極管而言,現(xiàn)在一般采用融點焊錫絲,焊錫拍扁成型

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本文編號:902266

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