本文關(guān)鍵詞：碳納米管在典型微納電子器件中的應(yīng)用進(jìn)展

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【摘要】：優(yōu)異的電學(xué)、熱學(xué)、機(jī)械特性和化學(xué)穩(wěn)定性以及獨(dú)特的一維納米結(jié)構(gòu),使碳納米管(CNT)成為應(yīng)用在微納電子器件中的理想功能材料。與傳統(tǒng)電子器件相比,CNT微納電子器件性能更為優(yōu)異。本文綜述了近年來制備和改進(jìn)基于CNT的場發(fā)射器、晶體管和傳感器的研究進(jìn)展。經(jīng)過特定方法的組裝和處理,可使CNT場發(fā)射器獲得低閥值電壓、高發(fā)射電流和發(fā)射電流穩(wěn)定等優(yōu)異性能,使CNT晶體管具有高遷移率、大跨導(dǎo)和大電流開閉比,可提高各種CNT傳感器的靈敏度。
【作者單位】： 華北理工大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;華北理工大學(xué)理學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 碳納米管 應(yīng)用 場發(fā)射器 晶體管 傳感器
【基金】：國家自然科學(xué)基金(No.51172062,No.51472074)~~
【分類號】：TB383.1;TN32
【正文快照】： 1引言碳納米管(CNT)在1991年被發(fā)現(xiàn)后便引起了廣泛的關(guān)注和研究[1]。CNT可以看成是由石墨片卷曲形成的空心圓柱體,具有獨(dú)特的準(zhǔn)一維納米結(jié)構(gòu),長徑比可達(dá)1 000以上[2]。極小的尺寸和高度對稱的結(jié)構(gòu)賦予了CNT獨(dú)特的電學(xué)特性。例如,CNT具有極高的電導(dǎo)率和遷移率[2],能承載高達(dá)107，

本文編號：877972