本文關(guān)鍵詞：納米精度二維工作臺(tái)測(cè)量鏡的面形誤差在線檢測(cè)

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【摘要】：針對(duì)二維工作臺(tái)測(cè)量鏡本身的面形誤差以及裝調(diào)等因素引起面形變化對(duì)二維工作臺(tái)定位精度的影響,提出了一種用于納米精度二維工作臺(tái)測(cè)量鏡面形誤差的在線檢測(cè)方法。利用兩路激光干涉儀檢測(cè)面形微分?jǐn)?shù)據(jù)的基本原理,分析了零點(diǎn)誤差和積分累計(jì)誤差對(duì)測(cè)量鏡面形誤差檢測(cè)的影響并提出了改進(jìn)方法。利用三路激光干涉儀組成兩組不等跨度的檢測(cè)機(jī)構(gòu),得到兩組工作臺(tái)測(cè)量鏡面形的原始數(shù)據(jù),通過(guò)這兩組數(shù)據(jù)之間的關(guān)系修正跨度間的面形細(xì)節(jié)誤差,得到了精確的測(cè)量鏡面形誤差量。對(duì)此方法進(jìn)行了理論推導(dǎo)、仿真計(jì)算和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,并將結(jié)果與Zygo干涉儀測(cè)量得到的離線檢測(cè)結(jié)果進(jìn)行了對(duì)比,結(jié)果顯示其差異在±10nm之間,且趨勢(shì)有較好的一致性。得到的結(jié)果驗(yàn)證了提出的方法可正確測(cè)量和真實(shí)地還原測(cè)量鏡的面形誤差。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);北京航空航天大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 激光干涉儀 納米二維工作臺(tái) 測(cè)量鏡 面形誤差 在線檢測(cè)
【基金】：國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)資助項(xiàng)目(No.61227901)
【分類號(hào)】：TN247;TH744.3
【正文快照】： 2.中國(guó)科學(xué)院大學(xué),北京101408;3.北京航空航天大學(xué),北京100191)(1.Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun130033,China;2.University of Chinese Academy of Sciences,Beijing101408,China;3.Beihang University,B

【相似文獻(xiàn)】

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1 劉彥義;;直角棱鏡加工誤差的量值給定方法[J];西安工業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào);1987年02期

2 盧啟鵬;高颯颯;彭忠琦;;同步輻射水平偏轉(zhuǎn)壓彎鏡面形誤差分析與補(bǔ)償[J];光學(xué)精密工程;2011年11期

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中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 許力超;基于瀝青盤中頻誤差抑制的研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院(光電技術(shù)研究所);2016年

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本文編號(hào)：872783