發(fā)布時(shí)間：2017-09-16 04:04

  本文關(guān)鍵詞：GaN基藍(lán)光VCSEL的制備及光學(xué)特性

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【摘要】：利用金屬有機(jī)物氣相沉積技術(shù)(MOCVD)在(0001)藍(lán)寶石襯底上生長(zhǎng)了Ga N基垂直腔面發(fā)射激光器(VCSEL)的多量子阱腔層結(jié)構(gòu)。X射線衍射測(cè)量顯示該多量子阱具有良好周期結(jié)構(gòu)和平整界面。運(yùn)用鍵合及激光剝離技術(shù)將該外延片制作成VCSEL,頂部和底部反射鏡為極高反射率的介質(zhì)膜分布布拉格反射鏡(DBR)。在室溫、紫外脈沖激光的泵浦條件下,觀察到了VCSEL明顯的激射現(xiàn)象,峰值波長(zhǎng)位于447.7 nm,半高寬為0.11 nm,自發(fā)輻射因子約為6.0×10-2,閾值能量密度約為8.8 m J/cm2。在大幅度降低制作難度的情況下,得到目前國(guó)際最好結(jié)果同樣數(shù)量級(jí)的激射閾值。降低器件制作難度有利于制備的重復(fù)性,有利于器件的產(chǎn)品化。
【作者單位】： 廈門理工學(xué)院光電與通信工程學(xué)院;福建省光電信息材料與器件重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;廈門大學(xué)信息學(xué)院電子系;
【關(guān)鍵詞】： 氮化鎵 垂直腔面發(fā)射激光器 激光剝離技術(shù) 光泵浦 激射
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(61307115) 福建省教育廳A類科技項(xiàng)目(JA12249) 廈門理工學(xué)院高校高層次人才基金(YKJ11026R) 福建省自然科學(xué)基金(2013J05104)資助項(xiàng)目
【分類號(hào)】：TN248
【正文快照】： 1引言本世紀(jì)以來(lái),Ga N基光電子器件正經(jīng)歷快速發(fā)展階段,其中LED和邊發(fā)射激光器已經(jīng)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化,但是具有更優(yōu)越特性的垂直腔面發(fā)射激光器(VCSEL)仍處于實(shí)驗(yàn)室研究階段。垂直腔面發(fā)射激光器的獨(dú)特優(yōu)點(diǎn)包括閾值電流低、易實(shí)現(xiàn)單縱模工作、調(diào)制頻率高、發(fā)散角度小、圓形光斑、易與

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

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