本文關(guān)鍵詞：5.2μm量子級(jí)聯(lián)激光器光腔衰蕩光譜技術(shù)的痕量水汽檢測(cè)

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【摘要】：高純氣體中水汽含量是半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)中的一個(gè)重要參數(shù),氣體中殘余水汽含量即使是ppbv量級(jí)也會(huì)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生影響。氣體在中紅外區(qū)域具有更豐富的特征譜線,在該區(qū)域?qū)λ窟M(jìn)行檢測(cè)十分必要。寬調(diào)諧范圍、高輸出功率和窄線寬量子級(jí)聯(lián)激光器的快速發(fā)展,推動(dòng)了該區(qū)域紅外光譜檢測(cè)技術(shù)的發(fā)展。首次在中紅外波段,采用5.2μm可調(diào)諧量子級(jí)聯(lián)激光器,基于連續(xù)光腔衰蕩光譜技術(shù)建立了痕量水汽的檢測(cè)裝置,并開展了痕量水汽檢測(cè)實(shí)驗(yàn)。通過阿倫方差分析系統(tǒng)噪聲水平,確定了光腔衰蕩信號(hào)最優(yōu)平均次數(shù)為602次。根據(jù)HITRAN數(shù)據(jù)庫(kù),模擬實(shí)驗(yàn)條件下1 905~1 925cm~(-1)范圍內(nèi)水汽的吸收截面,選取最佳的檢測(cè)譜線位置。在常壓和室溫下,對(duì)1 918cm~(-1)附近的水汽吸收光譜進(jìn)行測(cè)量,測(cè)定高純氮?dú)庵械暮哿克麧舛?檢測(cè)結(jié)果與標(biāo)稱值一致。在腔鏡反射率為99.93%時(shí)水汽的檢測(cè)靈敏度達(dá)到24.8ppbv。分析結(jié)果表明,中紅外高靈敏痕量氣體檢測(cè)技術(shù)在工業(yè)監(jiān)測(cè)、環(huán)境檢測(cè)以及醫(yī)學(xué)診斷等領(lǐng)域具有很好的應(yīng)用前景。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);電子科技大學(xué)光電信息學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 光腔衰蕩光譜 量子級(jí)聯(lián)激光器 痕量水汽
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(60878038) 中國(guó)科學(xué)院前沿部署項(xiàng)目(C13K017)資助
【分類號(hào)】：O433;TN248
【正文快照】： 2.中國(guó)科學(xué)院大學(xué),北京1000493.電子科技大學(xué)光電信息學(xué)院,四川成都610054引言工業(yè)生產(chǎn)中,高純氣體中痕量水汽濃度是一個(gè)重要技術(shù)參數(shù)。特別是在半導(dǎo)體工業(yè)中,經(jīng)常要用到水汽濃度低至100ppbv的高純氣體,例如高純氨氣、高純磷化氫、高純氮?dú)獾萚1]。高純氮?dú)馐前雽?dǎo)體器件和集成

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【相似文獻(xiàn)】

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