本文關(guān)鍵詞：基于波面面形的濾波計(jì)算

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【摘要】：為提高光學(xué)干涉測(cè)量的精度,研究了用來消除干涉條紋圖噪聲的濾波算法。討論了不同波面和不同干涉儀噪聲下不同濾波方法的濾波效果�？紤]干涉儀噪聲對(duì)條紋圖的影響與檢測(cè)中的不同波面情況,基于澤尼克多項(xiàng)式原理用matlab仿真法建立了離焦、像散、彗差、球差4種不同的干涉條紋圖,計(jì)算了濾波后不同波面面形的PV值和GRMS值差別的大小。結(jié)果表明:同種噪聲與濾波器情況下,在離焦、像散、彗差、球差4種面型中,濾波后球差波面的PV差值最大,高達(dá)0.11λ,與在乘性噪聲下其它波面的最高PV值0.08λ相比,濾波效果較差;濾波后像散波面的PV差值最小,除乘性噪聲中值濾波情況外,PV差值均在0.05λ以下,最低達(dá)0.01λ,濾波效果較好。此外,彗差波面濾波情況要略優(yōu)于離焦波面。濾波器中,低通濾波穩(wěn)定性高,PV差值局限于0.01λ~0.04λ,濾波效果相對(duì)好;而空域?yàn)V波后波面的PV差值最高達(dá)0.09λ,但噪聲針對(duì)性更好。
【作者單位】： 武漢理工大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所強(qiáng)激光材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 干涉測(cè)量 干涉條紋圖 波面面形 濾波方式
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金青年科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.11602280)
【分類號(hào)】：TP391.41;TN713
【正文快照】： 1引言光學(xué)干涉測(cè)量是一種集光電探測(cè)、計(jì)算機(jī)技術(shù)和圖像處理為一體的測(cè)量手段。光學(xué)干涉測(cè)量技術(shù)探測(cè)被測(cè)物表面特征的主要過程包括:利用光電探測(cè)器讀取光強(qiáng)信息、利用干涉條紋圖表征被測(cè)表面形貌信息、通過干涉條紋圖的解包獲取形貌信息。在測(cè)量過程中會(huì)不可避免地引入振動(dòng)和

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