本文關(guān)鍵詞：基于衍射光初相位測量的光柵曝光拼接誤差檢測研究

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【摘要】：高質(zhì)量大口徑脈沖壓縮光柵是高功率脈沖壓縮系統(tǒng)中的重要光學(xué)元件。但其制作難度大、成本高,這些因素制約著大口徑脈沖壓縮光柵的研制。針對國內(nèi)目前的技術(shù)狀況,全息光柵曝光拼接技術(shù)是研制大口徑光柵的最佳方案。針對潛像拼接在大口徑拼接中存在的對準(zhǔn)困難和成功率低等問題,課題組提出了逐區(qū)曝光和逐區(qū)刻蝕拼接方案。但是在拼接結(jié)束檢測拼接誤差時,這兩種拼接方法都會因為槽形差異產(chǎn)生衍射波面錯位,疊加到橫向位移誤差引起的相位變化中,從而干擾橫向位移誤差的判斷。因此本論文主要解決不同形貌光柵的衍射光初相位的計算問題以及衍射光初相位在光柵拼接誤差檢測中的應(yīng)用問題。為此本文主要進(jìn)行了以下工作:1、介紹了大口徑光柵的研究背景和國內(nèi)外的研究現(xiàn)狀,敘述了曝光拼接原理,介紹了逐區(qū)顯影和逐區(qū)刻蝕拼接方法的工藝流程和對準(zhǔn)拼接方法,提出理論計算衍射光相位差的必要性。2、基于嚴(yán)格耦合波理論編寫了衍射光相位的計算程序,分別從理論和實驗上驗證了計算程序的正確性。3、根據(jù)相位分布的規(guī)律,提出用測量相位的方法間接判斷光柵槽形。以K9玻璃基底為例,計算了反射和透射兩種情況下光柵衍射光的初相位與光柵槽形的關(guān)系,并且分析了該方法的適用條件和誤差,實驗上驗證了該方法的可行性。4、通過理論計算,給出了在無法精確測量占空比的情況下多層介質(zhì)膜光柵和均勻基底光柵由于形貌差異引起的1級衍射光相位差的計算方法,實驗上驗證了通過0級衍射光相位差推斷1級衍射光相位差的計算方法。
【關(guān)鍵詞】：大口徑光柵 拼接誤差 逐區(qū)顯影 衍射光初相位 嚴(yán)格耦合波理論
【學(xué)位授予單位】：蘇州大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類號】：TN25;O436.1
【目錄】：

• 中文摘要4-5
• Abstract5-8
• 第一章 緒論8-19
• 1.1 課題研究背景及意義8-9
• 1.2 國內(nèi)外研究現(xiàn)狀9-13
• 1.3 逐區(qū)顯影和逐區(qū)刻蝕拼接流程及拼接方法13-18
• 1.4 本論文的研究工作18-19
• 第二章 光柵衍射光相位的理論研究與實驗驗證19-34
• 2.1 基于嚴(yán)格耦合波理論的相位計算19-21
• 2.2 利用光柵衍射效率的MATLAB程序計算結(jié)果和GSOLVER軟件計算結(jié)果對比驗證程序的正確性21-26
• 2.3 基于嚴(yán)格耦合波理論相位計算方法的實驗驗證26-33
• 2.3.1 實驗室制作光柵的一般工藝流程26-27
• 2.3.2 驗證實驗所需光柵掩膜的制作方法27-28
• 2.3.3 Zygo干涉儀簡介28-29
• 2.3.4 光刻膠掩模的衍射波面測量29-33
• 2.4 本章小結(jié)33-34
• 第三章 光柵槽形參數(shù)測量新方法—相位測量法34-43
• 3.1 光柵槽形測量方法介紹34-35
• 3.2 光柵槽形相位測量法可行性的理論分析35-39
• 3.2.1 光柵0級反射光初相位與槽形關(guān)系的計算與分析35-37
• 3.2.2 光柵0級透射光初相位與槽形關(guān)系的計算與分析37-39
• 3.3 光柵槽形相位測量法可行性的實驗驗證39-41
• 3.4 本章小結(jié)41-43
• 第四章 衍射光初相位在光柵拼接誤差檢測中的應(yīng)用43-54
• 4.1 光柵形貌差異引起1級衍射光相位變化的分析和計算43-48
• 4.2 光柵1級衍射光相位差計算方法的實驗驗證48-53
• 4.3 本章小結(jié)53-54
• 第五章 總結(jié)與展望54-56
• 5.1 總結(jié)54
• 5.2 展望54-56
• 參考文獻(xiàn)56-60
• 攻讀碩士期間發(fā)表的學(xué)術(shù)論文60-61
• 致謝61-62

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