本文關(guān)鍵詞：柔性襯底上制備氟、鎵共摻雜氧化鋅透明導電薄膜及其光電性質(zhì)研究

  更多相關(guān)文章： 透明導電薄膜 Ga、F共摻雜ZnO PET柔性襯底 正交實驗設計

【摘要】：采用脈沖激光沉積技術(shù)在聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)襯底上制備了Ga、F共摻雜的Zn O透明導電薄膜。采用X射線衍射儀、紫外-可見分光光度計、原子力顯微鏡和霍爾測試儀等手段對薄膜性能進行了表征。制備過程中通過控制沉積時間、Ga摻雜量、襯底溫度和氧氣流量等實驗條件,比對研究了各參數(shù)對薄膜性能的影響。為了分析各參數(shù)對實驗結(jié)果影響的重要性,采用正交實驗法設計實驗,并對結(jié)果進行正交分析、極差方差分析。得出了各個實驗條件對結(jié)果影響的大小順序和最優(yōu)的制備條件。結(jié)果表明,摻雜量和沉積時間對于薄膜的光電性能影響較大,Ga摻雜量取1.0%(原子比),且沉積時間較短的薄膜透光率較好;Ga摻雜量取1.0%,且沉積時間較長的薄膜導電性能較好。
【作者單位】： 復旦大學材料科學系;
【關(guān)鍵詞】： 透明導電薄膜 Ga、F共摻雜ZnO PET柔性襯底 正交實驗設計
【分類號】：TN304.2
【正文快照】： 透明導電氧化物(TCO)薄膜主要包括In、Sb、Zn和Cd的氧化物及其復合多元氧化物薄膜材料,具有禁帶寬、可見光區(qū)透射率高和電阻率低等光電特性,廣泛地應用于太陽能電池、平面顯示、特殊功能窗口涂層及其他光電器件領(lǐng)域。近年來Zn O薄膜的研究備受關(guān)注,通過摻雜元素和控制生長條件

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 范志新;透明導電薄膜最佳摻雜含量的理論計算[J];半導體學報;2002年06期

2 宋淑梅;楊田林;辛艷青;姜麗莉;李延輝;龐志勇;林亮;韓圣浩;;氧化鋅摻釔透明導電薄膜的制備及光電特性研究[J];功能材料;2010年09期

3 吳正華;;微通道板示波管帶狀邊框透明導電薄膜的研制[J];光電子學技術(shù);1989年01期

4 蔣正萍;不摻雜In_2O_3透明導電薄膜的制作[J];微電子學;2000年04期

5 周之斌,崔容強,黃燕,孫鐵囤,陳東;超聲霧化噴涂工藝及優(yōu)質(zhì)二氧化錫透明導電薄膜的研究[J];固體電子學研究與進展;2000年02期

6 ;柔性透明導電薄膜(ITO)簡介[J];發(fā)光學報;2001年01期

7 孟揚,楊錫良,陳華仙,沈杰,蔣益明,章壯健;高價態(tài)差摻雜氧化物透明導電薄膜的研究[J];光電子技術(shù);2001年01期

8 劉漢法;張化福;袁玉珍;袁長坤;;直流磁控濺射法制備摻鈦氧化鋅透明導電薄膜[J];材料導報;2009年22期

9 ;柔性透明導電薄膜(ITO)簡介[J];發(fā)光學報;2000年03期

10 孟揚,楊錫良,陳華仙,沈杰,蔣益明,章壯健,華中一;臭氧在熱反應蒸發(fā)法低溫制備透明導電薄膜IMO中的作用[J];真空科學與技術(shù);2001年04期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 孟凡英;胡宇;余躍波;;氧化鋅透明導電薄膜生長及其光電特性研究[A];第十屆中國太陽能光伏會議論文集：迎接光伏發(fā)電新時代[C];2008年

2 王鋼;范冰豐;楊景川;胡銳欽;童存聲;吳志盛;裴艷麗;江灝;;ZnO基透明導電薄膜材料在LED中的應用研究[A];2013廣東材料發(fā)展論壇——戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展與新材料科技創(chuàng)新研討會論文摘要集[C];2013年

中國博士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 李錚錚;ⅢA族元素摻雜ZnO透明導電薄膜的研究及在6H-SiC上的電極應用[D];華東師范大學;2012年

中國碩士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 姜玲霞;ZnO基透明導電薄膜的濕化學制備[D];江蘇大學;2016年

2 周霞輝;激光制備鈮摻雜二氧化鈦基透明導電薄膜[D];華中科技大學;2011年

3 王穎華;p型透明導電薄膜及其二極管的研究[D];復旦大學;2008年

4 別勛;ZnO透明導電薄膜的制備及性能優(yōu)化[D];浙江大學;2010年

5 黃偉霞;Mg_xZn_（1-x）O透明導電薄膜的制備及性能研究[D];浙江大學;2006年

6 化麒麟;太陽電池用硼摻雜氧化鋅透明導電薄膜的制備及特性研究[D];云南師范大學;2013年

7 門智新;磁控濺射法低溫制備ITO透明導電薄膜工藝研究[D];中南民族大學;2011年

8 王書昶;PLD法制備ZnO基透明導電薄膜及其性能研究[D];揚州大學;2012年

9 陳文豐;H、F摻雜ZnO透明導電薄膜的制備及其性能研究[D];浙江大學;2014年

10 張仕凱;D/M/D結(jié)構(gòu)的ZnO基透明導電薄膜的制備及特性研究[D];吉林大學;2013年

，

本文編號：810358