本文關(guān)鍵詞：柔性襯底上制備氟、鎵共摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電薄膜及其光電性質(zhì)研究

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【摘要】：采用脈沖激光沉積技術(shù)在聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)襯底上制備了Ga、F共摻雜的Zn O透明導(dǎo)電薄膜。采用X射線衍射儀、紫外-可見分光光度計(jì)、原子力顯微鏡和霍爾測試儀等手段對薄膜性能進(jìn)行了表征。制備過程中通過控制沉積時(shí)間、Ga摻雜量、襯底溫度和氧氣流量等實(shí)驗(yàn)條件,比對研究了各參數(shù)對薄膜性能的影響。為了分析各參數(shù)對實(shí)驗(yàn)結(jié)果影響的重要性,采用正交實(shí)驗(yàn)法設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn),并對結(jié)果進(jìn)行正交分析、極差方差分析。得出了各個(gè)實(shí)驗(yàn)條件對結(jié)果影響的大小順序和最優(yōu)的制備條件。結(jié)果表明,摻雜量和沉積時(shí)間對于薄膜的光電性能影響較大,Ga摻雜量取1.0%(原子比),且沉積時(shí)間較短的薄膜透光率較好;Ga摻雜量取1.0%,且沉積時(shí)間較長的薄膜導(dǎo)電性能較好。
【作者單位】： 復(fù)旦大學(xué)材料科學(xué)系;
【關(guān)鍵詞】： 透明導(dǎo)電薄膜 Ga、F共摻雜ZnO PET柔性襯底 正交實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)
【分類號(hào)】：TN304.2
【正文快照】： 透明導(dǎo)電氧化物(TCO)薄膜主要包括In、Sb、Zn和Cd的氧化物及其復(fù)合多元氧化物薄膜材料,具有禁帶寬、可見光區(qū)透射率高和電阻率低等光電特性,廣泛地應(yīng)用于太陽能電池、平面顯示、特殊功能窗口涂層及其他光電器件領(lǐng)域。近年來Zn O薄膜的研究備受關(guān)注,通過摻雜元素和控制生長條件

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