本文關鍵詞：銅電致化學拋光拋光液的成分及其作用

  更多相關文章： 電致化學拋光 電化學反應 拋光液 粗糙度

【摘要】：電致化學拋光是通過電化學反應生成刻蝕劑并利用擴散控制反應實現(xiàn)工件表面無應力拋光的新方法,拋光液的特性則是實現(xiàn)擴散控制反應和可控去除的關鍵因素。分析電致化學拋光的基本原理,并根據(jù)理論模型提出了拋光液所應具備的基本條件。針對銅的電致化學拋光,提出以FeSO_4為電活性中介體,H_2SO_4為p H調節(jié)劑,BTA為側向電子傳導抑制劑的拋光液。通過使用XRD以及XPS等表征手段對加工后的表面進行分析,研究了銅拋光液中的p H調節(jié)劑H_2SO_4以及側向電子傳導抑制劑BTA的作用機理。研究結果表明,pH調節(jié)劑H_2SO_4的主要功能為去除Cu表面的氧化層,從而促進刻蝕反應的進行,而BTA則通過吸附于銅工件表面,從而有效地抑制了加工過程中的側向電子傳導。
【作者單位】： 大連理工大學精密與特種加工教育部重點實驗室;
【關鍵詞】： 電致化學拋光 電化學反應 拋光液 粗糙度
【基金】：國家自然科學基金(91523102,51475076) 遼寧省教育廳重點實驗室基礎研究(LZ2015026)資助項目
【分類號】：TN305.2
【正文快照】： 0前言*銅具有良好的熱學以及電學性能,在微機電系統(tǒng)和極大規(guī)模集成電路制造中得到廣泛應用[1-3]。在這些領域中銅經(jīng)常需要進行拋光加工,從而獲得超光滑無缺陷無應力表面。化學機械拋光(Chemicalmechanical polishing,CMP)技術利用化學和機械的協(xié)同作用實現(xiàn)對工件表面的拋光,由

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 陳葆梅;;紅外晶體窗口的化學拋光[J];激光與紅外;1982年02期

2 陳新;;藍寶石和尖晶石的化學拋光[J];微電子學;1972年Z1期

3 湯英童;袁順山;熊長新;;微晶玻璃試片的化學拋光研究[J];光學與光電技術;2014年03期

4 楊春林;侯晶;周禮書;;連續(xù)位相板數(shù)控化學拋光制造技術研究[J];光電工程;2010年08期

5 張洪治;InP(100)的化學減薄與化學拋光[J];固體電子學研究與進展;1983年01期

6 項震;聶傳繼;侯晶;;基于Marangoni效應的光學元件化學拋光工藝研究[J];光電子.激光;2007年10期

7 程鵬;王燕華;趙超;孔忠弟;;InSb晶片化學拋光研究[J];紅外;2009年07期

8 雷勝瓊;張星燦;;化學拋光InSb晶片的掃描電鏡觀測[J];半導體光電;1992年03期

9 侯晶,許喬,雷向陽,周禮書,張清華,王健;基于Marangoni界面效應的數(shù)控化學拋光去除函數(shù)的研究[J];強激光與粒子束;2005年04期

10 劉安福;;工業(yè)純鋁L4M的化學拋光[J];通信技術;1984年Z1期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 楊慶富;;化學拋光在鈦合金高倍組織檢測中的應用[A];探索創(chuàng)新交流－－中國航空學會青年科技論壇文集[C];2004年

2 何家康;;過氧化氫在化學拋光中的應用[A];貴陽電鍍協(xié)會成立二十周年年會論文集[C];2004年

3 鄭秋云;李明軍;舒適;;一類機械化學拋光的磁流體模型及其數(shù)值模擬[A];第五屆全國青年計算物理學術交流會論文摘要[C];2008年

4 馬洪芳;紀立杰;董翠謙;;鋁合金的化學拋光[A];2001年全國電子電鍍年會論文集[C];2001年

5 蔣建忠;趙永武;;機械化學拋光過程單分子層材料吸附去除初理分析及建模[A];2006全國摩擦學學術會議論文集（一）[C];2006年

6 侯晶;許喬;雷向陽;周禮書;張清華;王健;;高精度數(shù)控化學拋光技術[A];中國工程物理研究院科技年報（2003）[C];2003年

7 侯晶;許喬;張清華;雷向陽;周禮書;陳寧;;高精度數(shù)控化學拋光技術[A];中國工程物理研究院科技年報（2005）[C];2005年

8 王興華;易君明;;電磁純鐵化學拋光工藝研究[A];貴陽電鍍協(xié)會成立二十周年年會論文集[C];2004年

9 王興華;易君明;;電磁純鐵化學拋光工藝研究[A];2004年全國電子電鍍學術研討會論文集[C];2004年

10 屈戰(zhàn)民;;新型不銹鋼化學拋光劑工藝研究[A];天津市電鍍工程學會第九屆學術年會論文集[C];2002年

中國重要報紙全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 見習記者 薛花 實習生 梁惠明;研發(fā)新工藝實現(xiàn)無污染排放[N];西江日報;2014年

2 李鵬;詳解拋光工藝[N];中國黃金報;2010年

中國博士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 馬寶麗;化學輔助軟磨粒流拋光技術研究[D];浙江工業(yè)大學;2013年

中國碩士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 張艷紅;鋁制品化學拋光新工藝的研究[D];山西大學;2009年

2 龐洪濤;鋁及鋁合金環(huán)保型化學拋光研究[D];機械科學研究院;2002年

3 劉東光;H_2SO_4-H_3PO_4為基液的模具鋼化學拋光工藝研究[D];武漢理工大學;2008年

4 馬海生;鎳毛細管內表面的化學拋光研究[D];燕山大學;2015年

5 蔡吉慶;靜壓液浮大面積電致化學拋光試驗臺研制[D];大連理工大學;2015年

6 梁桂蘭;黃銅線和紫銅線的化學拋光新工藝[D];華南理工大學;2012年

7 聶傳繼;基于Marangoni效應的數(shù)控化學拋光工藝研究[D];浙江大學;2007年

8 宋曉敏;AM60鎂合金化學拋光及化學轉化膜的研究[D];湖南大學;2009年

9 郭艷軍;磁力驅動下的化學機械光整加工技術研究[D];大連理工大學;2012年

10 曾東;口腔鑄鈦修復體化學拋光的實驗研究[D];天津醫(yī)科大學;2002年

，

本文編號：802988