本文關(guān)鍵詞：具有2-空間緩沖模塊的多組合設(shè)備的優(yōu)化調(diào)度

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【摘要】：隨著半導體晶圓生產(chǎn)加工變得越來越復雜,多組合設(shè)備也越來越頻繁的被采用.多組合設(shè)備的調(diào)度關(guān)鍵在于怎么協(xié)調(diào)好相鄰機械手的操作.針對擁有2-空間緩沖模塊的單臂多組合設(shè)備,同時它的瓶頸設(shè)備被假設(shè)為處于加工-邊界,首先運用面向資源的Petri Net對系統(tǒng)進行建模,然后在分析系統(tǒng)調(diào)度特性的基礎(chǔ)上提出了此多組合設(shè)備的周期時間一定可以達到下界,并給出了有效的調(diào)度算法.最后,用實例證明了該調(diào)度方法的可操作性.
【作者單位】： 廣東工業(yè)大學機電工程學院;
【關(guān)鍵詞】： 多組合設(shè)備 調(diào)度 面向資源 Petri Net
【基金】：國家自然科學基金(60974098) 高等學校博士點學科專項科研基金(2009442011002)~~
【分類號】：TN305
【正文快照】： i引言在半導體制造業(yè)中,組合設(shè)備被廣泛的運用到晶圓加工中.作為一種可實現(xiàn)單晶圓制造技術(shù)的集成設(shè)備,它為半導體制造廠商提供了一個靈活的以及可重構(gòu)并且有效的環(huán)境·它一般由4-6個加工模塊(processmodule,PM),—臺單臂或雙臂機械手(handling robot,HR)和2個用于存儲晶圓的裝，

本文編號：800684