本文關(guān)鍵詞：光刻用準(zhǔn)分子激光器中心波長(zhǎng)在線測(cè)量研究

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【摘要】：實(shí)現(xiàn)了一種準(zhǔn)分子激光光刻光源中心波長(zhǎng)的實(shí)時(shí)測(cè)量方法。基于法布里珀羅(F-P)標(biāo)準(zhǔn)具與中階梯光柵的相關(guān)測(cè)量裝置,通過(guò)對(duì)F-P標(biāo)準(zhǔn)具的干涉條紋和光柵衍射條紋的分析,實(shí)現(xiàn)了對(duì)光刻光源輸出激光中心波長(zhǎng)的在線有效測(cè)量。整個(gè)測(cè)量裝置體積小、成本低,在500~3 000 Hz高重頻條件下,實(shí)現(xiàn)了亞pm量級(jí)的測(cè)量精度,標(biāo)準(zhǔn)差低于0.1pm,取得了較好的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院光電研究院;北京市準(zhǔn)分子激光工程技術(shù)研究中心;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 準(zhǔn)分子激光器 光刻 中心波長(zhǎng) 在線測(cè)量
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(61405202) 中國(guó)科學(xué)院光電研究院創(chuàng)新(Y50B17A12Y)資助項(xiàng)目
【分類號(hào)】：TN248
【正文快照】：

【參考文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前4條

1 吳博琦;董連和;孫艷軍;冷雁冰;王麗;;用于激光防護(hù)非逆向反射雙層閃耀光柵的研究[J];光電子·激光;2016年03期

2 李立彤;張東生;文曉艷;熊麗;;微型光纖F-P傳感器用于材料熱膨脹系數(shù)的測(cè)量[J];光電子·激光;2014年11期

3 余吟山;游利兵;梁勖;方曉東;;準(zhǔn)分子激光技術(shù)發(fā)展(邀請(qǐng)論文)[J];中國(guó)激光;2010年09期

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【共引文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 高斐;趙江山;王倩;劉廣義;白路軍;周翊;孟慶賓;;光刻用準(zhǔn)分子激光器中心波長(zhǎng)在線測(cè)量研究[J];光電子·激光;2016年07期

2 邱紅松;游利兵;王慶勝;尹廣s，

本文編號(hào)：799657