本文關(guān)鍵詞：基于Si-BCB工藝Ka波段雙模帶通濾波器

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【摘要】：介紹了一種應(yīng)用于毫米波晶圓級集成基于Si-BCB工藝的Ka波段雙模帶通濾波器。微帶線結(jié)構(gòu)的全波長諧振器具有低輻射特性,全波長環(huán)形階躍阻抗諧振器(step impedance resonator,SIR)有兩種正交諧振模式,可以減小濾波器尺寸。通過對基于環(huán)形諧振器的雙模濾波器進(jìn)行奇偶模分析,確定諧振器的設(shè)計(jì)參數(shù)。采用寬邊耦合結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)輸入輸出端口,具有高耦合度。仿真結(jié)果表明中心頻率35GHz,通帶內(nèi)插損1.2dB,回波損耗優(yōu)于30dB,BW3dB為15%。最后,采用Si-BCB工藝制作濾波器并完成測試。測試結(jié)果為中心頻率33.3GHz,通帶內(nèi)插損1.17dB,回波損耗優(yōu)于30dB,BW3dB為18%。測試結(jié)果與仿真結(jié)果基本吻合。
【作者單位】： 上海大學(xué)通信與信息工程學(xué)院;中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所;
【關(guān)鍵詞】： Si-BCB工藝 SIR濾波器 雙模 寬邊耦合
【基金】：國家重大儀器項(xiàng)目(2012YQ14003702)資助
【分類號】：TN713.5
【正文快照】： 1引言毫米波技術(shù)在無線通訊和雷達(dá)系統(tǒng)的應(yīng)用日益增多,保證性能的同時(shí)要求電路尺寸小,工藝兼容度高。其中,微帶/帶狀[1-3]濾波器具有小尺寸,易加工,易兼容的特點(diǎn),發(fā)展前景很大。一般情況下,基于系統(tǒng)級封裝(system in packa-ge,SIP)工藝的多層低溫共燒陶瓷(low temperature co-

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