發(fā)布時間：2017-09-04 00:31

  本文關鍵詞：亞波長抗反射光柵的設計

  更多相關文章： 光柵 亞波長結(jié)構(gòu) 等效介質(zhì)理論 半導體激光器

【摘要】：設計了一種具有波長和偏振模式選擇特性的GaAs材料的亞波長抗反射光柵,工作波長為976nm。采用等效介質(zhì)理論與薄膜理論對光柵進行初步設計,基于嚴格耦合波法依次對光柵占空比、脊高和周期進行優(yōu)化確定,同時分析了各個參數(shù)對光柵透射率的影響。所設計的抗反射光柵分別具有99.99%(橫電模)和99.86%(橫磁模)的高透射率,并且在976nm±30nm的范圍內(nèi)保持99%以上的高透射率,滿足器件應用要求。最后研究了工藝誤差導致的光柵非矩形形貌對光柵透射率以及偏振優(yōu)勢模式的影響。
【作者單位】： 長春理工大學高功率半導體激光國家重點實驗室;
【關鍵詞】： 光柵 亞波長結(jié)構(gòu) 等效介質(zhì)理論 半導體激光器
【分類號】：TN202
【正文快照】： 亞波長光柵是一種典型的亞波長衍射光學元件,具有抗/增反射、偏振雙折射、低吸附性、大角度范圍高透射率、高耐久性與高損傷閾值等優(yōu)良特性。隨著近年來微加工技術(shù)的發(fā)展及相應理論的日漸成熟,具有特殊性能的亞波長光柵備受青睞,廣泛應用于多種光學器件及光源,如偏振耦合器[1-

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本文編號：788293