本文關(guān)鍵詞：基于模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的晶圓清洗機過濾器建模

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【摘要】：晶圓的清洗是半導(dǎo)體生產(chǎn)過程的重要工藝環(huán)節(jié),晶圓對微污染物的存在非常敏感,晶圓的清洗質(zhì)量直接關(guān)系到芯片的成品率,是關(guān)乎生產(chǎn)成本的關(guān)鍵因素之一。目前濕法清洗是被廣泛采用的清洗技術(shù),濕法清洗技術(shù)關(guān)鍵是對過濾器更換的控制,而控制的重要依據(jù)是清洗機內(nèi)化學(xué)品的流量和濃度。論文研究了晶圓清洗機液態(tài)化學(xué)品過濾器的流量預(yù)測模型,并基于該流量預(yù)測模型對過濾器及生產(chǎn)線的更換進行優(yōu)化,解決過早更換過濾器造成的過濾器未物盡其用的浪費和延遲更換過濾器導(dǎo)致流量EP (Excursion Prevention)報警造成的晶圓廢品,有效的降低了生產(chǎn)成本。論文的主要研究工作如下：(1)對晶圓清洗機過濾器流量預(yù)測進行了研究。通過現(xiàn)場實際采樣,選取構(gòu)建模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的訓(xùn)練樣本集和檢測樣本集數(shù)據(jù)；對采集的數(shù)據(jù)進行標準化去除噪聲處理。(2)進行模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)建模和學(xué)習(xí)算法的研究。建立模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型,并進行了實例驗證；研究該模型的預(yù)測精度及誤差原因,并提出改進措施。(3)對模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型的算法進行改進研究。提出了基于新目標函數(shù)的模糊聚類算法。該算法將輸入量的變化引入到模型的輸入空間,改善模型的結(jié)構(gòu)。通過改進的聚類算法確定模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的結(jié)構(gòu)和網(wǎng)絡(luò)參數(shù)、權(quán)值,確定模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)神經(jīng)元個數(shù)和規(guī)則數(shù),利用改進型模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)對晶圓清洗機過濾器流量進行預(yù)測研究。(4)搭建實驗平臺,進行實踐平臺的實際測試,包括模型結(jié)構(gòu)的確定,參數(shù)的估計及實踐平臺的應(yīng)用流程。在研究中,通過理論分析和實踐驗證,本文提出的基于模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的預(yù)報方法可以實現(xiàn)自動預(yù)報,實現(xiàn)過濾器自動更換。
【關(guān)鍵詞】：晶圓清洗機 模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò) 過濾器流量預(yù)測 模糊聚類
【學(xué)位授予單位】：大連理工大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類號】：TN305
【目錄】：

• 摘要4-5
• Abstract5-8
• 1 緒論8-15
• 1.1 研究領(lǐng)域及應(yīng)用價值8-10
• 1.1.1 研究領(lǐng)域8-9
• 1.1.2 應(yīng)用價值9-10
• 1.2 國內(nèi)外研究概況10-11
• 1.3 神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型及國內(nèi)外研究現(xiàn)狀11-14
• 1.4 本文主要研究工作14-15
• 2 晶圓清洗機(JK751)過濾器工作原理15-18
• 2.1 晶圓清洗機簡介15-16
• 2.2 過濾器的數(shù)學(xué)模型16-17
• 2.3 本章小結(jié)17-18
• 3 基于模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的晶圓清洗機過濾器流量預(yù)測建模18-31
• 3.1 模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)18
• 3.2 基于模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的建模和學(xué)習(xí)算法18-21
• 3.3 過濾器流量原始數(shù)據(jù)的獲得及去噪處理21-23
• 3.4 系統(tǒng)輸入量的選擇23-24
• 3.5 基于模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的過濾器流量的預(yù)測研究24-30
• 3.6 本章小結(jié)30-31
• 4 基于改進型模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的建模方法31-45
• 4.1 改進型模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)建模31-33
• 4.1.1 模糊模型的描述31
• 4.1.2 模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)31-33
• 4.2 基于目標函數(shù)的模糊聚類分析33
• 4.3 改進模糊聚類的模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)辨識33-38
• 4.4 基于改進型模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的過濾器流量預(yù)測研究38-44
• 4.5 本章小結(jié)44-45
• 5 實物實踐平臺的搭建45-51
• 5.1 應(yīng)用設(shè)計要求45
• 5.2 JK751型晶圓清洗機過濾器更換規(guī)程45-46
• 5.3 實物實踐平臺的應(yīng)用流程46-47
• 5.4 實踐平臺47-50
• 5.5 本章小結(jié)50-51
• 結(jié)論51-52
• 參考文獻52-55
• 攻讀碩士學(xué)位期間發(fā)表學(xué)術(shù)論文情況55-56
• 致謝56-57

【參考文獻】

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本文編號：775642